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2024年7月9日 06:09

PI 推出用于检查和计量的高动态 4DOF 压电晶圆台

Highly Dynamic 4DOF Piezo Wafer Stage for Inspection and Metrology, new from PI

利用数十年的压电纳米定位技术经验，在 2024 年 Semicon West 上推出

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2024年6月25日 06:33

7 月 9 日至 11 日，加利福尼亚州旧金山举行的 Semicon West 上，Basler 将展示新的晶圆台和超精密运动系统

New Wafer Stages and Ultra-Precision Motion Systems at Semicon West, July 9 - 11, in San Francisco, CA

体验 PI 的新型压电晶圆台、用于薄膜计量的花岗岩多轴系统、气浮台、激光束转向系统和亚纳米精度压电台，这些都以数十年的纳米定位经验为后盾。

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