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PI 推出用于检查和计量的高动态 4DOF 压电晶圆台
利用数十年的压电纳米定位技术经验，在 2024 年 Semicon West 上推出
来源:RoboticsTomorrow News利用数十年的压电纳米定位技术经验，在 2024 年 Semicon West 上推出
利用数十年的压电纳米定位技术经验，在 2024 年 Semicon West 上推出马萨诸塞州奥本 - PI 的最新晶圆检测解决方案基于混合运动学设计，结合了 Piezo-Walk 电机和压电堆栈，可实现长行程和高动态、超精密运动。这种集成的 4-DOF 解决方案降低了设备复杂性、集成工作量、成本和风险。
与其他运动技术不同，Piezo-Walk 电机在静止时会自锁，不会增加伺服抖动和热量。短行程压电堆栈执行器的高带宽允许动态跟踪和外部干扰的误差补偿（例如来自长行程 XY 晶圆台）。
4DOF 模块还可以校正旋转晶圆错位，并考虑晶圆厚度和机器静态特性。
Tip-Tilt 驱动模块的高刚度设计提供极快的步进和稳定（<10 毫秒）和位置稳定性（<0.05µrad）。
有关用于晶圆检测和计量的压电平台的更多信息
PI 拥有先进的设计专业知识和作为顶级半导体制造商和领先系统集成商的供应商的长期经验，使我们能够理解并满足行业的高要求，包括精确复制和满足严格的洁净室要求。
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