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World File Search System凹陷
夏季深层凹陷在北大西洋东部增加
1 Laboratory of dynamic meteorology - IPSL, ENS, PSL Research University, École Polytechnique, Institut Polytechnique de Paris, Sorbonne University, CNRS, Paris, France, 2 Institut Pierre - Simon Laplace, CNRS, University Paris - Saclay, Sorbonne University, Paris, France, 3 European Research and Training Center advanced in scientific calculation, CNRS，UMR 5318法国Toulouse，4 CNRM，图卢兹大学，梅特·弗朗西斯大学，CNRS，CNRS，法国图卢兹，5个环境研究研究所，Vrije Universiteit Universiteit Universiteit Universiteit Universiteit Universiteit Universiteit netherlands，6 6皇家荷兰的环境实验室（Kniminder Interunition）科学，UMR 821222 CEA -CNRS -UVSQ，巴黎 - 萨克莱和IPSL大学，GIF-苏尔 - 法国，法国Yvette，8 Ecole des Ponts，Marne -La -la -la -vallée，法国，法国
硅凹陷迹线的制造和建模……
长期植入的神经微电极是神经科学研究和新兴临床应用的有力工具，但由于它们在体内数月后容易失效，因此其实用性受到限制。一种失效模式是保护导电迹线免受盐水环境影响的绝缘材料的降解。研究表明，机械应力会加速材料降解，而机械应力往往集中在凸起的地形上，例如导电迹线。因此，为了避免凸起的地形，我们开发了一种制造技术，将迹线凹进（埋入）干蚀刻、自对准沟槽中。沟槽的深度和迹线的厚度相匹配，以使上覆的绝缘材料平坦，根据有限元建模，这可以降低绝缘材料中的应力集中。在这里，我们详细介绍了工艺优化、固有应力建模以及使用 SEM、聚焦离子束横截面、轮廓测量和电化学阻抗测试进行表征。该技术不需要额外的掩模，易于与现有工艺集成，并产生约 10 纳米内的平整度。
