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高纵横比硅沟槽的蚀刻。
在 DRAM 器件中制造电荷存储电容器时，高纵横比 (AR) 沟槽对于实现大电容值必不可少。高 AR 沟槽的蚀刻会受到固有 RIE 滞后机制的影响，这是由于深沟槽底部的离子能量和蚀刻物质数量减少所致。本文提出了两种方法来尽量减少这些问题，从而实现更高的硅蚀刻速率和更深的沟槽。本文所述工作中使用的气体混合物为 HBr + NF 3 + O 2 。沟槽蚀刻工艺的设计目的是在蚀刻沟槽时在侧壁上连续沉积一层薄钝化膜。这种氧化物状钝化膜 (SiO x F y Cl z ) 可防止沟槽侧壁在 XY 平面表面被蚀刻时被蚀刻。在蚀刻过程中平衡形成钝化膜对于在高纵横比沟槽蚀刻中实现高度各向异性至关重要。尽管钝化膜形成于包括蚀刻前沿在内的所有表面上，但沟槽底部的膜却不断被入射到该表面上的高能离子去除。然而，侧壁上的膜不受离子轰击（除了那些以掠射角接收离子且能量 > 阈值能量的区域），因此不会被蚀刻，从而防止硅的横向蚀刻。该过程还提高了掩模选择性，因为钝化膜也沉积在掩模表面上，从而降低了其有效蚀刻速率。据悉，蚀刻工艺内置有沉积组件，可在沟槽表面形成氧化物状钝化膜。由于沟槽开口附近的壁暴露在高浓度反应物等离子体中的时间最长，因此此处的沉积物较厚（> 25 nm），并随着深度逐渐变薄至 < 5 nm。沟槽下部沉积物较薄的另一个原因是，从倾斜掩模偏转的一些离子以掠射角到达该区域并使薄膜变薄。顶部沉积物较厚的直接后果是开口收缩，从而减小了这一临界尺寸，这反过来又通过减少进入沟槽孔的离子和中性粒子的数量而增加了 RIE 滞后。因此，可实现的深度减小，电池电容也减小了。显然，通过减薄衬里定期扩大该开口将允许更多蚀刻物质进入沟槽，底部的立体角增加，从而实现更高的硅蚀刻速率。虽然减薄可以在单独的系统中完成，但我们建议在本文中现场执行此步骤。需要定制此原位等离子清洗工艺，以便在此步骤中不会显著蚀刻掩模。这很关键，因为减薄工艺按要求，等离子体中几乎没有或完全没有沉积成分。我们已成功使用硅烷（例如 SiH 4 ）和含 F 气体（例如 NF 3 ）的混合物以及少量或完全没有氧气来进行此减薄步骤。另一种方法涉及去除钝化层
肺部以外：一例累及多系统的播散性结核病病例报告
结核病 (TB) 是由结核分枝杆菌复合群的抗酸杆菌引起的传染病。肺结核是最常见的表现，由原发性感染或潜伏性疾病复发引起。在极少数情况下，结核分枝杆菌会广泛播散，通常通过血源性或淋巴途径传播，导致多器官受累并可能危及生命，称为播散性结核病。我们介绍了一名 55 岁男性的病例，他到急诊室 (ED) 就诊，主诉炎症性多关节痛和肌痛，在过去四个月内病情逐渐恶化。其他症状包括疲劳、咳嗽伴有脓性痰，以及过去一个月内体重减轻。患者的既往病史包括肺矽肺和吸烟。体格检查显示，他面容憔悴，发烧（38.4 ºC），胸部检查正常，没有关节炎的迹象。血液检查显示贫血、白细胞减少、轻度肝细胞溶解和急性期反应物升高。尿沉渣显示轻度血尿，伴有红细胞管型。胸腹盆腔计算机断层扫描显示弥漫性毛玻璃样支气管血管周围致密化、左侧胸腔积液、均质性肝脾肿大以及多发性纵隔、腹膜后、门静脉周围、髂骨和腹股沟淋巴结肿大。入院后，痰液和尿液中的结核分枝杆菌 DNA 聚合酶链反应 (PCR) 呈阳性。诊断为播散性结核病，伴有肺和肾受累，并开始使用异烟肼、利福平、吡嗪酰胺和乙胺丁醇进行抗结核治疗。此外，收集了 24 小时尿液，发现蛋白尿为 1,566 毫克/24 小时。超声引导下经皮肾活检显示为免疫复合物沉积引起的系膜增生性肾小球肾炎。多关节痛持续存在，并伴有新发关节炎，因此进行了关节穿刺术。结核分枝杆菌学和结核分枝杆菌 DNA PCR 检测均为阴性。在病房中，患者突然出现呼吸困难和下肢水肿，并检测到颈静脉扩张和低血压。即时心脏超声显示大量心包积液，无心包填塞。超声引导下进行了心包穿刺术。心包液的结核分枝杆菌学和结核分枝杆菌 DNA PCR 检测均为阴性。入院六周后，痰液 Lowenstein-Jensen 培养中发现结核分枝杆菌。患者住院 145 天后出院，有迹象表明需要继续抗结核治疗至少 12 个月，治疗延长时间取决于临床进展。出院 12 个月后，患者无症状，分析和影像学检查均有改善；因此，停止抗结核治疗。播散性或粟粒性结核病是一种罕见疾病，由于临床表现不具特异性，对每位临床医生的诊断都具有挑战性。如果最初没有怀疑结核病，多器官受累可能会影响诊断检查。临床医生应注意异质性疾病进展，因为最初发现器官受累并不排除疾病进一步播散的可能性。应迅速诊断，以便尽早开始抗结核治疗并预防可能危及生命的情况。
碱基编辑酶 APOBEC3A 以低效率和高选择性催化 RNA 中的胞嘧啶脱氨
A3A 和 eA3A 表达。A3A 表达构建体 (Addgene #109231) 之前已有描述，可用于纯化 A3A 作为融合蛋白 (MBP-A3A-His)，可进一步加工以生成分离的 A3A 结构域。32,33 对于 eA3A (A3A-N57G)，N57G 突变是通过 Q5 定点诱变 (New England Biolabs, NEB) 引入的。A3A 和 eA3A 构建体的细菌表达之前已有详细描述。 33 将纯化的 MBP-A3A-His、MBP-eA3A-His 或分离的 A3A 在 50 mM Tris-Cl（pH 7.5）、50 mM NaCl、10% 甘油、0.5 mM DTT 和 0.01% Tween-20 中透析过夜，并使用 BSA 标准曲线确定蛋白质浓度。基于 SwaI 的脱氨酶对 ssDNA 和嵌合底物的活性。5'-荧光素 (FAM) 荧光标记的底物 S35-dC 或具有单个靶核糖胞嘧啶的匹配底物（在其他 DNA 骨架中）（S35-rC）由 Integrated DNA Technologies (IDT) 合成，以及相关产品对照（S35-dU 和 S35-rU）。在最佳 A3A 反应条件（最终为 20 mM 琥珀酸：NaH 2 PO 4：甘氨酸 (SPG) 缓冲液 pH 5.5，0.1% Tween-20）下，用 6 倍稀释的未标记 A3A（从 1 µM 到 4 pM）处理 100 µM 寡核苷酸。反应在 37 ˚C 下进行 30 分钟，然后终止（95 ˚C，10 分钟）。然后加入 200 nM 互补链并退火。加入 SwaI (NEB)，在室温下消化过夜。加入甲酰胺上样缓冲液，样品加热变性（95 ˚C，20 分钟），然后在 50 ˚C 下在 20% 变性 TBE/尿素聚丙烯酰胺凝胶上运行。使用 Typhoon 成像仪（GE Healthcare）上的 FAM 滤光片对凝胶进行成像。使用 ImageJ 中的面积量化工具进行定量分析。720 碱基对 ssDNA 底物的合成。为了生成 ssDNA，使用 720 bp gBlock 基因片段 (IDT) 作为模板 (补充图 2a)，并使用 Taq 聚合酶 (NEB) 进行扩增，采用指数后线性 (LATE) PCR 反应方案，该方案采用相对于磷酸化的反向引物过量的正向引物。32 对反应物进行纯化 (NucleoSpin、Fisher)，然后在 37 ˚C 下用 核酸外切酶处理 1 小时以降解磷酸化链，然后进行热失活 (90 ˚C，10 分钟)。然后将产物在 2% 琼脂糖凝胶上运行，并使用凝胶 DNA 回收试剂盒 (Zymoclean) 回收 ssDNA。通过乙醇沉淀进一步纯化 ssDNA，并使用 Qubit ® 荧光计 (ThermoFisher) 测量其浓度。对于一个重复，ssDNA 以大分子寡核苷酸 (IDT) 的形式获得，并通过乙醇沉淀进一步纯化。720 聚体 RNA 底物的合成。使用 720 bp 基因块 (IDT) dsDNA 作为模板，在推荐条件下使用 TranscriptAid Enzyme Mix (ThermoFisher) 通过体外转录生成 RNA，并在 37 ˚C 下孵育两小时。然后通过苯酚-氯仿提取和乙醇沉淀纯化 RNA。将样品重新悬浮在无核酸酶的水中，并进一步用 MspI、XbaI 和 AclI 限制性酶 (NEB) 处理以消化任何剩余的 DNA 模板。在 37 ˚C 下孵育 1 小时后，使用 RNA Clean and Concentrator-5 试剂盒 (Zymo Research) 纯化 RNA。为了进一步确保完全去除模板 DNA，在 37 ˚C 下用 DNase I (Ambion) 处理 RNA 30 分钟。重复纯化 (RNA Clean and Concentrator-5)，并使用 Qubit ® 荧光计测量纯化 RNA 的浓度。通过“预测二级结构网络”预测 720 聚体中几个中尺度区域的二级结构
标题：使用机械化学作者简化和扩展硼咪唑酸盐框架（BIF）合成的范围：Cameron B. Lennox，A，B Jean
标题：简化和扩大使用机械化学作者合成的硼咪二唑酯框架（BIF）范围TomislavFriščićA，B * A McGill University的化学系，801 Sherbrooke St. W. H3A 0B8加拿大蒙特利尔。e-邮件：tomislav.friscic@mcgill.ca b frqnt Quebec高级材料中心（QCAM/CQMF），加拿大蒙特利尔，加拿大C CADADIFF大学，加拿大大学，公园大楼，加迪夫CF10 3AT公园广场，英国d，英国d，d pasciff cf10 3at，d pastef，d cf10 d。e Concordia大学生物化学与化学系，7141 Sherbrooke St. W. H4B 1R6加拿大蒙特利尔。 f国际纳米技术研究所，化学系西北大学，2145 Sheridan Road，60208 Sheridan Road，60208 Evanston，伊利诺伊州，伊利诺伊州，伊利诺伊州伊利诺伊州，主要文本机械化学1-7，已成为一种多功能方法，用于合成和高级材料的合成和材料，包括Nananoparticle Systems 8-10和金属eRebressing（包括金属型号）（包括金属型号）（Mofs-Er-Organigics）（Mofs-Erganigy），使用常规的基于解决方案的技术获得。 16–18的机械化学技术，例如球铣削，双螺钉挤出19和声学混合20,21，简化和先进了多种MOF范围的合成，允许使用简单的起始材料，例如金属氧化物，氢氧化物或碳酸盐或碳酸盐，氢氧化物或碳酸盐，在房间温度和较高的表面上，较高的表面上的较高的表面，均等的，均质的稳定性，均可稳定地及其稳定，并稳定地，稳定性，稳定性，稳定性，并稳定地及其稳定性，并在稳定的稳定性，并且稳定的范围是稳定的。同行。e Concordia大学生物化学与化学系，7141 Sherbrooke St. W. H4B 1R6加拿大蒙特利尔。f国际纳米技术研究所，化学系西北大学，2145 Sheridan Road，60208 Sheridan Road，60208 Evanston，伊利诺伊州，伊利诺伊州，伊利诺伊州伊利诺伊州，主要文本机械化学1-7，已成为一种多功能方法，用于合成和高级材料的合成和材料，包括Nananoparticle Systems 8-10和金属eRebressing（包括金属型号）（包括金属型号）（Mofs-Er-Organigics）（Mofs-Erganigy），使用常规的基于解决方案的技术获得。16–18的机械化学技术，例如球铣削，双螺钉挤出19和声学混合20,21，简化和先进了多种MOF范围的合成，允许使用简单的起始材料，例如金属氧化物，氢氧化物或碳酸盐或碳酸盐，氢氧化物或碳酸盐，在房间温度和较高的表面上，较高的表面上的较高的表面，均等的，均质的稳定性，均可稳定地及其稳定，并稳定地，稳定性，稳定性，稳定性，并稳定地及其稳定性，并在稳定的稳定性，并且稳定的范围是稳定的。同行。24,25机械化学在MOF合成和发现中的优势使我们解决了合成硼咪唑酸盐框架（BIF）的可能性，26一种是一种有趣但不足以开发的微孔材料，类似于Zeolitic imidazaly的框架（Zifs），27-29 – 27-29 – 29 – 29 – 29 – 29 – 29 – 29-硼（III）和单价Li +或Cu +阳离子作为节点。尽管BIFS提供了一个有吸引力的机会来访问分子量较低的微孔MOF，尤其是在基于Li+和B（III）中心的“超轻”系统的情况下，这种材料家族在很大程度上尚未探索 - 可能是由于需要在n -butylithium中使用溶液中的溶液环境，因此需要进行严格的综合条件。29现在，我们展示如何切换到机械化学环境使锂和铜（i）基于铜（i）的BIF迅速制备（即，一个小时或更短的时间），没有升高的温度或散装溶剂，以及易于获得的固体反应物，例如氢氧化物和氧化物。虽然机械化学准备的BIF表现出明显高的表面积面积，而机械化学则可以将这种类别的材料扩展到以前未报告的Ag +节点。与基于li +或Cu +的bifs同源性引入，但包括Ag +离子，可以对其稳定性进行定期密度功能功能理论（DFT）评估。这表明，随着四面体节点的稳定性（SODALITE拓扑结构（SOD）开放BIF相对于封闭式包装的Diaondoid（DIA）拓扑多形状，改善了较重的元素。