我们展示了如何同时控制 ZnO 薄膜的电和热传输特性,该薄膜是通过原型原子层沉积 (ALD) 工艺从二乙基锌 (DEZ) 和水前体制备的。关键的 ALD 工艺参数是在 DEZ 前体脉冲之后施加的 N 2 吹扫时间。我们利用 X 射线反射率测量来表征薄膜的生长特性,利用光致发光光谱来表征结构缺陷,利用电传输测量来表征载流子密度、电阻率和塞贝克系数,利用时域热反射测量来表征热导率。光致发光光谱数据表明,延长吹扫时间会产生结构缺陷,从而增加电子载流子密度;这可以解释薄膜电导率增强的原因。同时,缺陷可能会阻碍薄膜中的热传输。因此,实现电导率的同时增加和热导率的降低对热电学至关重要。此外,在光学和微电子领域中,人们非常希望对半导体 ZnO 薄膜的本征电传输特性进行简单的控制。
为了尽量减少微生物活动的形成,应遵循几个程序。一些 PEDI 工厂每次进行再生时都会用稀氯溶液冲洗所有便携式罐体部件(罐体、头部、连接器等)。处理这些物品的所有人员还必须小心,不要用脏手或其他设备污染设备。每次进行再生时,离子交换树脂本身都会通过暴露于酸性或碱性 pH 极端值而经历有效的“生物杀灭”。当然,PEDI 工厂必须得到妥善维护并尽可能保持清洁。有些工厂会定期用稀氯溶液清洗再生罐和管道,以尽量减少微污染源。
为了去除和排出液体、气溶胶和雾气,未经处理的压缩空气流首先通过 0.01PPM 抛光预过滤器。然后将过滤后的压缩空气向上引导通过两个装有专门设计的净化滤芯的腔室之一。每个滤芯包含一个高性能干燥剂床和一个颗粒后过滤器。干燥剂材料吸附剩余的水蒸气,整体后过滤器通过收集任何剩余的颗粒物完成该过程。然后,压缩空气作为清洁、干燥的公用设施输送到分配系统或使用点。
过滤后的压缩空气通过阀门 A 进入在线干燥剂填充的干燥塔 1。上流干燥使干燥剂能够从气流中去除水分。清洁、干燥的压缩空气通过 E 排出,供给空气系统。塔 2 上的阀门 B 关闭,通过消声器将空气减压到大气中。阀门 D 和 F 打开,加热器打开。高效鼓风机吸入环境空气并将其送入加热器。环境气流通过阀门 F 并向下流过塔 2 中的潮湿干燥剂,在离开阀门 D 之前收集水蒸气。一旦干燥剂完全解吸,加热器就会关闭。阀门 D 关闭,塔 2 重新加压。一旦能源管理系统控制器确定塔 1 已完全饱和,阀门 B 将打开,塔 2 将在线干燥气流,阀门 A 将关闭。操作将切换,塔 1 将再生。