非封闭式振膜的压电MEMS扬声器有望产生高声压级(SPL),但存在严重的振膜破裂问题。本文提出了一种具有准封闭式振膜的新型压电MEMS扬声器。准封闭式振膜由对角切割但中心相连的振膜组成,振膜上涂有一层薄薄的Parylene-C。在应力分散结构的共同作用下,Parylene-C薄膜的应用可防止振膜破裂并显著减少空气损耗。成功制作了尺寸为2.5×2.5 mm 2 的小尺寸MEMS扬声器,并在711耳模拟器中对其声学性能进行了测试。在驱动电压为4 V pp 下,测得的SPL在11.8 kHz时达到最大值124 dB。在 35 V pp 的电压下,低频范围 (20 – 500 Hz) 内的 SPL 进一步增加到 88 dB。
阅读并遵循所有安装说明。如果 8 岁及以上的儿童以及身体、感官或精神能力较弱或缺乏经验和知识的人在接受有关安全使用本设备的监督或指导并了解所涉及的危险,则可以使用本设备。儿童不应玩耍本设备。儿童不应在无人监督的情况下进行清洁和用户维护。不要让儿童玩固定控制器。将遥控器放在儿童接触不到的地方。经常检查安装是否不平衡以及电缆和弹簧是否有磨损或损坏的迹象。如果需要维修或调整,请勿使用。本说明手册也可在网站上找到。清洁、维护和更换零件时,必须将驱动器与电源断开。驱动器的 A 加权发射声压级等于或小于 70dB(A)。仅限室内和家庭使用。当附近正在进行维护(例如窗户清洁)时,请断开驱动器的电源或关闭自动控制器。操作偏置开关时,请确保其他人远离。在附近进行维护(例如窗户清洁)时,请勿操作。管状电机只能使用与设备上的标记相对应的安全超低电压供电。
ACC 空战司令部 AFB 空军基地 AFI 空军指令 AFPD 空军政策指令 AICUZ 空中设施兼容使用区 空军 美国空军 APZ 事故潜在区 ATC 空中交通管制 BASH 鸟类/野生动物飞机撞击危险 CATM 战斗武器训练与维护 CDNL C 加权昼夜平均噪声级 CFR 联邦法规 CZ 净区 dB 分贝 DNL 昼夜平均声级 DoD 国防部 EMI 电磁干扰 FAA 联邦航空管理局 FAR 楼层面积比 GCA 地面控制进近 HAFZ 飞机飞行区危害 HRPDC 汉普顿路规划区委员会 Hz 赫兹 IONMP 装置运行噪声管理计划 JBLE 兰利-尤斯蒂斯联合基地 JLUS 联合土地利用研究 LaRC 兰利研究中心 LFA 兰利飞行进近 Lpk 峰值声压级 MSL 平均海平面 NASA 美国国家航空航天局 NLR 噪音水平降低 NVGs 夜视镜 PA 公共事务RPA 遥控飞机 SLUCM 标准土地使用编码手册 UAS 无人机系统 USC 美国代码 USDA 美国农业部 VFR 目视飞行规则
缩写 定义 ACE 大西洋城电力 ACJV 大西洋海岸合资企业 AIS 自动识别系统 AMSL 高于平均海平面 APM 申请人提议的措施 大西洋县 大西洋城大西洋登陆点 BA 生物评估 BMPs 最佳管理实践 BOEM 海洋能源管理局 COP 建设和运营计划 CVOW 弗吉尼亚沿海海上风电 DAS 分布式声学传感 DOI 美国内政部 DP 动态定位 DTS 分布式温度系统 EA 环境评估 ECC 出口电缆走廊 EIS 环境影响声明 ESA 濒危物种法案 FAA 联邦航空管理局 FLiDARs 浮动灯和探测测距浮标 FONSI 无重大影响发现 GIS 地理信息系统 GPS 全球定位系统 HDD 水平定向钻井 HDPE 高密度聚乙烯 HLV 重型起重船 HVAC 高压交流电 HVDC 高压直流电 IpaC 规划和保护信息 IPF 影响产生因素 JCP&L 泽西中央电力和照明公司 kV 千伏 L Aeq,1m 分贝等效连续声压级租赁区域 租赁区域 OCS-A 0499 m/s 米每秒;MDAT 海洋生物数据和分析团队 MW 兆瓦
首字母缩略词 定义 ACE 大西洋城电力 ACJV 大西洋海岸合资企业 AIS 自动识别系统 AMSL 高于平均海平面 APM 申请人提议的措施 大西洋县 大西洋城大西洋登陆点 BA 生物评估 BMPs 最佳管理实践 BOEM 海洋能源管理局 COP 建设和运营计划 CVOW 弗吉尼亚沿海海上风电 DAS 分布式声学传感 DOI 美国内政部 DP 动态定位 DTS 分布式温度系统 EA 环境评估 ECC 出口电缆走廊 EIS 环境影响声明 ESA 濒危物种法案 FAA 联邦航空管理局 FLiDARs 浮动灯和探测测距浮标 FONSI 无重大影响发现 GIS 地理信息系统 GPS 全球定位系统 HDD 水平定向钻井 HDPE 高密度聚乙烯 HLV 重物运输船 HVAC 高压交流电 HVDC 高压直流电 IpaC 规划和保护信息 IPF 影响产生因素 JCP&L 泽西中央电力和照明公司 kV 千伏 L Aeq,1m 分贝等效连续声压级 租赁区域 租赁区域OCS-A 0499 m/s 米每秒;MDAT 海洋生物数据和分析小组 MW 兆瓦
图 28:排放侧 2D 发生频率(调制频率与风力涡轮机转速)......................................................................................... 59 图 29:调制深度与输出辐射(SA 2 顶部,SA 4 底部)........................................ 64 图 30 按风向和输出分类的频率分布 Δ L AM,SA 1 至 SA 4 ............................................................................................. 65 图 31 按风向和风速分类的频率分布 Δ L AM,SA 5 ............................................................................................................. 66 图 32:SA 1 中排放范围内的调制深度与剪切参数......................................................................................................... 67 图 33:SA 2 中辐射范围内的调制深度与剪切参数......................................................................................................... 68 图 34:有风力涡轮机的高速公路沿线 10 Hz 噪声曲线比较......................................................................................................... 69 图 35:AM 方法与最大周期性噪声级方法的比较(SA 2)............................................................................................. 70 图 36:AM 方法与最大周期性噪声级方法的比较(SA 4)............................................................................................. 71 图 37:AM 方法与最大周期性噪声级方法的比较(SA 5)......................................................................................... 71 图 38:接地板上的次声麦克风 ............................................................................. 73 图 39:带有单独线条的声压谱 ............................................................................. 74 图 40:带有单独线条的声压谱,放大 ............................................................. 75 图 41:随时间变化的声压级曲线 ............................................................................. 78 图 42:SA 5 中 G 加权级的频率分布 ............................................................. 79 图 43:SA 5 中 3 Hz 以内的频带级的频率分布 ............................................................. 80 图 44:SA 5 中 4 至 7 Hz 以内的频带级的频率分布 ............................................................. 80 81 图 46: SA 5 中 25 至 80 Hz 频带的声级频率分布 .............................................. 81 图 47: SA 5 中 A 加权声级的频率分布 .............................................................. 83 图 48: SA 5 中 125 Hz 频带的声级频率分布 ............................................................. 84 图 49: SA 5 中可听声音范围内的三分之一倍频程频谱 ............................................................. 85 图 50:可听声音与次声的声级 ............................................................................. 86 图 51:接地板测量和三脚架测量 ............................................................................................................................................. 87 图 52:不同风速下差异频谱(三脚架-接地板)的 80% 百分位数 ............................................................................................. 88 图 53:低负载、中负载和大负载测得的三分之一倍频程频谱,SA 5 ............................................................................................. 92 图 54:为额定输出时背景和风力涡轮机计算的三分之一倍频程频谱,SA 1 ............................................................................. 93 图 55:为额定输出时背景和风力涡轮机计算的三分之一倍频程频谱,SA 2 ............................................................................. 94
词汇表 A A 加权:一种用于获得单个数字的技术,该数字代表包含广泛频率范围的噪声的声压级,其方式近似于耳朵的响应:人耳对所有频率的声音的反应并不相同,在低频和高频下的效率低于中频或语音频率。因此,使用 A 加权会弱化低频和高频。像差:与完美图像再现的任何差异。像差仪:一种用于测量光学像差的仪器。眼科像差仪的开发是为了测量无法通过自动验光仪或更传统的临床方法测量的复杂屈光不正。绝对阈值:导致感觉反应的刺激的最小值。适应:对新的身体和/或环境条件的生理调整(适应)。调节:眼睛的自动对焦过程,有助于在不同观看距离下保持清晰的视网膜图像。消色差:镜片组合(通常接触),可减少色差。声学:与声音或听觉有关。声学显示:呈现声学信息的显示。声场:对特定空间中声音行为的描述;特定开放、部分受限或完全封闭空间中一个或多个声源产生的声压分布。包含声波的空间区域 声阻抗:给定表面上平均的有效声压与流过该表面的声能有效体积速度之比。阻抗的单位是 Pa-s/m 3 或 dyne-s/cm 5 ,称为声欧姆 (Ω)。声学人体模型:人体头部(或人体头部和躯干)的复制品,在耳道中鼓膜位置放置麦克风,用于进行声学测量和声音记录。听神经:[参见听觉神经] 声压:[参见声压] 声反射:中耳肌肉的一种动作,可降低耳朵对高强度刺激的敏感度。声学特征:给定声源的特征声音,可用于识别声源。声波:通过弹性介质传播的机械扰动。声学:声音的产生、传输和接收的科学。执行器:用于或旨在用于移动或控制某物的设备。有源矩阵电致发光 (AMEL):一种电致发光显示器,其中各个像素由专用电子开关控制,并以矩阵形式(行和列)排列。有源矩阵液晶显示器 (AMLCD):一种液晶显示器,其中每个像素由专用电子开关控制,并以矩阵形式(行和列)排列。有源矩阵 OLED (AMOLED):一种有机发光显示器,其中各个像素由专用电子开关控制,并以矩阵形式(行和列)排列。主动降噪 (ANR):通过电子方式将背景噪声的相位反转 180 度并将此反转信号添加到原始噪声中来降低背景噪声的过程。动作空间:个人移动和做出决定的区域(半径 2 米内)。适应:感觉系统对长时间刺激的自动调整。[参见视觉适应和听觉适应]
词汇表 A A 加权:一种用于获得单个数字的技术,该数字代表包含广泛频率范围的噪声的声压级,其方式近似于耳朵的响应:人耳对所有频率的声音的反应并不相同,在低频和高频下的效率低于中频或语音频率。因此,使用 A 加权会弱化低频和高频。像差:与完美图像再现的任何差异。像差仪:一种用于测量光学像差的仪器。眼科像差仪的开发是为了测量无法通过自动验光仪或更传统的临床方法测量的复杂屈光不正。绝对阈值:导致感觉反应的刺激的最小值。适应:对新的身体和/或环境条件的生理调整(适应)。调节:眼睛的自动对焦过程,有助于在不同观看距离下保持清晰的视网膜图像。消色差:镜片组合(通常接触),可减少色差。声学:与声音或听觉有关。声学显示:呈现声学信息的显示。声场:对特定空间中声音行为的描述;特定开放、部分受限或完全封闭空间中一个或多个声源产生的声压分布。包含声波的空间区域 声阻抗:给定表面上平均的有效声压与流过该表面的声能有效体积速度之比。阻抗的单位是 Pa-s/m 3 或 dyne-s/cm 5 ,称为声欧姆 (Ω)。声学人体模型:人体头部(或人体头部和躯干)的复制品,在耳道中鼓膜位置放置麦克风,用于进行声学测量和声音记录。听神经:[参见听觉神经] 声压:[参见声压] 声反射:中耳肌肉的一种动作,可降低耳朵对高强度刺激的敏感度。声学特征:给定声源的特征声音,可用于识别声源。声波:通过弹性介质传播的机械扰动。声学:声音的产生、传输和接收的科学。执行器:用于或旨在用于移动或控制某物的设备。有源矩阵电致发光 (AMEL):一种电致发光显示器,其中各个像素由专用电子开关控制,并以矩阵形式(行和列)排列。有源矩阵液晶显示器 (AMLCD):一种液晶显示器,其中每个像素由专用电子开关控制,并以矩阵形式(行和列)排列。有源矩阵 OLED (AMOLED):一种有机发光显示器,其中各个像素由专用电子开关控制,并以矩阵形式(行和列)排列。主动降噪 (ANR):通过电子方式将背景噪音的相位反转 180 度并将此反转信号添加到原始噪音中来降低背景噪音的过程。动作空间:个人移动和做出决定的区域(半径 2 米内)。适应:感觉系统对长时间刺激的自动调整。[参见视觉适应和听觉适应]