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非封闭式振膜的压电MEMS扬声器有望产生高声压级（SPL），但存在严重的振膜破裂问题。本文提出了一种具有准封闭式振膜的新型压电MEMS扬声器。准封闭式振膜由对角切割但中心相连的振膜组成，振膜上涂有一层薄薄的Parylene-C。在应力分散结构的共同作用下，Parylene-C薄膜的应用可防止振膜破裂并显著减少空气损耗。成功制作了尺寸为2.5×2.5 mm 2 的小尺寸MEMS扬声器，并在711耳模拟器中对其声学性能进行了测试。在驱动电压为4 V pp 下，测得的SPL在11.8 kHz时达到最大值124 dB。在 35 V pp 的电压下，低频范围 (20 – 500 Hz) 内的 SPL 进一步增加到 88 dB。
具有准封闭振膜的 PZT MEMS 扬声器
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