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印度空间研究组织 (ISRO) 在其维克拉姆·萨拉巴伊航天中心 (VSSC) 开发了一种 MEMS 声学传感器技术。该传感器用于监测卫星运载火箭发射期间产生的声级。它是一种内置电子设备的压电 MEMS 传感器。MEMS 技术使微型设备能够精确批量制造。该传感器可在恶劣环境下工作，并能经受振动测试、冲击测试、湿度测试、温度浸泡测试。这是第一个在印度运载火箭上进行飞行测试的自主开发的 MEMS 传感器，具有 12 次连续 PSLV 飞行的运行记录。突出特点 突出特点 突出特点 突出特点 • 体相微加工硅振膜，硅上带有压电感应层 • 范围：100 至 180dB（2Pa 至 20KPa） • 频率范围：31.5Hz 至 6.3KHz，1/3 倍频程中心频率 • 灵敏度：150 至 200uV/Pa
MEMS 声学传感器
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