机构名称：
¥ 1.0
现代飞机（军用和民用市场）上的压力传感器范围非常广泛且复杂。许多飞机系统都需要压力传感器作为控制元件，例如：发动机（油压、压缩机压力、电子发动机控制）；燃料（泵压力、燃油调节）；液压系统（制动系统、负载控制）和环境应用（空调、增压）。未来的飞机系统将对压力传感器的重量、尺寸、成本、可靠性和信号处理提出更高的要求 [11。微机械压力传感器对航空航天应用具有吸引力，因为它们旨在在单个芯片中构建小尺寸、轻重量、低成本和最先进的信号处理电子单元。体微机械压力传感器是最早由硅微机械加工制成的产品之一 [2]。这些第一代 MEMS 压力传感器是在 1970 年代开发的。如今，许多公司制造和销售用于汽车、工业和生物医学应用的体微机械压力传感器。这些压力传感器的测量范围可高达 10,000 Psi，并且具有出色的可靠性。例如，Foxboro 公司报告称，他们的压力传感器可以承受 50 亿次 0 至 10,000 Psi 的压力循环。由于这些体微机械压力传感器已经研究多年，因此在制造和设计两个领域的知识都非常丰富 [3-71。
适用于航空航天应用的 MEMS 压力传感器
主要关键词
相关文件推荐
