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¥ 6.0
航空航天应用包括 (1) 薄边界层流的主动控制，有可能消除传统的飞行控制面，减少阻力，提供按需升力，并提高压缩机、涡轮机和低可观测进气口的空气动力学性能，(2) 在单个芯片上完成惯性和导航单元，与传统系统相比，在尺寸、重量和成本方面具有重大优势，(3) 用于鱼雷应用的引信/安全和解除武装系统，(4) 使用微型燃料电池和微型发动机进行微型发电，用于潜在的独立传感器和执行器，具有无线通信，以及微型火箭、(5) 恶劣环境中的应用（例如高温、大量振动循环、侵蚀流和腐蚀性介质）以及 (6) 自主库存和存储环境监控以及使用寿命预测的应用。继这些 MEMS 应用之后，微光机电系统 (MOEMS) 在光通信和传感系统的背景下进行了描述。
MEMS 航空航天应用 - 北约 STO
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