机构名称：
¥ 8.0
•构建以通过机电或电化学手段实现特定的工程功能或功能•包含尺寸为1 µm至1mm的组件。可用的mems产品包括：•微传感器（声波，生物医学，化学，惯性，光学，压力，辐射，热，热等）•微执行器（阀门，泵和微流体；电气和光学继电器和开关；握手，镊子和钳子；线性和旋转电动机等）•在计算机存储系统中读/写头。•喷墨打印机头。•微型设备组件（例如，棕榈门侦察飞机，迷你机器人和玩具，微手术和移动电信设备等）
EC465 MEMSEC465 MEMS
主要关键词
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