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图 3.(左)我们打算将连接到电力线导体上的传感器模块封装用作传感器电容拾音器的一部分,以最大限度地提高其电容,从而提高灵敏度。(右)电压指的是支持固态电容传感器或 MEMS 传感设备的导体的电压。(电压值从图 2 中的 FEM 模型中获得。)请注意,在距离支撑导体相对较小的地方存在较大的电位差,并且电位差在靠近支撑导体的地方几乎呈线性变化。

MEMS 近距离电压传感

MEMS 近距离电压传感PDF文件第1页

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