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• 硬：适用于硅等材料 • 软：适用于聚合物 • MEMS 是 R. Howe 教授于 1989 年左右创造的一个术语 • 特征尺寸小于 100 µm（头发大小） • 跨学科 • 洁净室（10 级、100 级、1000 级） • 不是通过传统方式加工的（例如车床等） • MEMS 具有孔、腔、通道、悬臂、膜等，
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