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MEMS 技术已广泛应用于消费电子、汽车工业、航空航天和生物医疗设备等众多领域。在消费电子领域,MEMS 传感器(如加速度计和陀螺仪)用于智能手机和平板电脑的方向感测和运动跟踪。在汽车工业中,MEMS 传感器用于安全气囊系统、轮胎压力监测系统和电子稳定控制系统等,以提高安全性和性能。在航空航天工业中,MEMS 传感器用于导航系统、惯性测量单元和振动监测系统,以提高飞机的性能和可靠性。

微机电系统 (MEMS)

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