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摘要 - 微机电系统 (MEMS) 是一种将机械和电气元件结合起来制造微型设备的工艺技术。如果我们对设计进行仿真，则可以大大降低设备的成本。有许多可用的仿真软件可供选择，而这又是主要挑战之一。本文探讨了 MEMS 设计中使用的一些软件的功能和技术特点。它进一步介绍了我们在选择软件时应该注意的要点。所有 MEMS 仿真软件都具有基本功能。但是，如果设计涉及特定的物理、几何、材料或网格划分，则必须进行搜索以找到合适的软件。如果用户打算制造该设备，则需要选择带有虚拟制造工具的软件。
MEMS 设计中的建模和仿真软件
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