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3 中央水利电力研究站，印度浦那 摘要：微机电系统 (MEMS) 已成为一项突破性技术，广泛应用于从消费电子产品到医疗保健和商业等各个行业。本研究重点介绍了基本概念、操作原理和多种 MEMS 应用。MEMS 技术结合了小型机械和电气部件，可创建微米或纳米级的设备。MEMS 设备以其感知、控制和改变微小物理过程的能力而著称。它们将微电子技术与微加工方法相结合，构建了重量轻、节能且价格合理的复杂系统。MEMS 非常重要，因为它们可以解决许多不同领域的难题。MEMS 加速度计、陀螺仪和压力传感器彻底改变了我们与消费电子产品互动的方式，使手势识别、图像稳定和精确导航等功能成为可能。由于基于 MEMS 的传感器和执行器，在医疗保健领域，用于监测生命体征、药物输送系统和微创手术器械的可穿戴设备的出现已成为可能，从而改善了患者护理和治疗效果。在汽车领域，MEMS 对于安全功能的实现也至关重要，包括安全气囊展开、轮胎压力监测和车辆稳定性控制。MEMS 技术还对能量收集系统、电信、航空应用和环境监测产生了重大影响。温度、压力、湿度、气体浓度和加速度是 MEMS 传感器用于测量和调节的因素之一。这些应用对提高生产率、降低成本和提高整体性能具有重大影响。然而，MEMS 技术的发展并非没有困难。技术挑战包括材料选择、设备集成和制造方法。其他持续存在的问题包括保证可靠性、耐用性和在大规模生产过程中保持高产量。索引术语 - MEMS、制造、监测、设备、蚀刻。
微机电系统 (MEMS) 综合回顾
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