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生物微机电系统和纳米技术

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生物微机电系统和纳米技术

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MEMS 是一种由微电子元件、执行器、传感器和机械结构组成的技术，这些元件、执行器、传感器和机械结构构建在基板上，基板通常是硅。

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生物微机电系统和纳米技术

主要关键词

构建组成的 MEMS 元件组成传感器子元件电子元件执行器由微结构机械基板技术

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