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静电传感与驱动：静电传感器与驱动的介绍、平行板电容器、平行板电容器的应用、指状电容器、梳状驱动器的应用。热传感与驱动：介绍、基于热膨胀的传感器与驱动、热电偶、热电阻、应用。磁驱动：基本概念与原理、微磁元件的制造、MEMS 磁驱动的案例研究。
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