点击购买,资源将自动在新窗口打开.
获取独家产品信息,尽享促销优惠!立即订阅,不容错过
* 限···时··优惠
采用这种主要方法时,将基板放置在反应器中,并暴露于含有要沉积材料的热不稳定气体中。在反应器的高温(高达 1250 o C)下,基板表面的化学反应将气体分解为气态和固态成分。固态成分以非常薄且均匀的薄膜形式沉积在基板表面上,气态成分则被吸走。
主要关键词