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采用这种主要方法时,将基板放置在反应器中,并暴露于含有要沉积材料的热不稳定气体中。在反应器的高温(高达 1250 o C)下,基板表面的化学反应将气体分解为气态和固态成分。固态成分以非常薄且均匀的薄膜形式沉积在基板表面上,气态成分则被吸走。

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