机构名称：
¥ 1.0
近年来，人们对用于入耳式应用的 MEMS 扬声器的兴趣日益浓厚，在声压级、失真和外形尺寸方面取得了令人鼓舞的成果 [1–3]。基于薄膜 PZT 的 MEMS 扬声器有望取代目前用于小型可穿戴设备的笨重扬声器。减小扬声器尺寸并使其适应微制造工艺可以进一步降低功耗并将其集成到更小的设备中，如智能手表和真正的无线耳机。在本文中，我们介绍了 [4] 中所示的扬声器的测量结果，并将结果与 [5] 中提出的集总参数模型和有限元模型进行的仿真结果进行了比较。在使用集总参数和有限元模型进行的仿真中，扬声器产生的声压级超过 120 dB SPL，频率低至 100 Hz。扬声器的响应使用 GRAS RA0045 耳塞耦合器测量，符合国际 60318-4 (IEC) 标准。扬声器的后腔未加载，装置放置在消声 GRAS 室内。设计并 3D 打印了一个适配器，以使扬声器的移动板适应耳塞耦合器的输入。还评估了由于扬声器中使用的薄膜压电材料的复杂非线性行为而导致的总谐波失真 (THD)。实验结果与实际结果之间的差异
适用于入耳式应用的 MEMS 扬声器
主要关键词
相关文件推荐
