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图 1. (ad) 纳米结构 Zr 50 Cu 50 TFMG 的形态演变与沉积过程中背景压力的关系。低真空 (2x10 -3 Pa) 下的沉积产生致密的薄膜 (a)，而薄膜形态从 5 Pa 下的复合非晶态-纳米晶态 (b) 演变为 10 和 100 Pa 下的纳米颗粒 (d,e)。e) 和 f) 分别显示了原子逐原子生长 (低真空) 和簇组装生长 (10 和 100 Pa) 的示意图。(g) 相应的 GIXRD 衍射图。在背景压力为 2.1x10 -3 Pa 和 10 至 200 Pa 时发现非晶态结构。

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