XiaoMi-AI文件搜索系统
World File Search System多晶硅
自动化、视觉与工业系统控制 (AVCSI) 实验室自动化工程系，科学技术大学
工业系统自动化、视觉与控制 (AVCSI) 实验室 阿尔及利亚奥兰科技大学自动化工程系。 ORCID：https://orcid.org/0000-0002-3781-9779 doi:10.15199/48.2023.03.43 使用 3D-TLM 方法和 COMSOL Multiphysics 软件对基于 MEMS 的气体传感器进行微加热器热分析 摘要。带有金属氧化物 (MOx) 的气体传感器为 MEMS 传感器提供了新的机会，因为它们拥塞少、灵敏度高、响应速度快。微热板是这些传感器中控制传感层温度的关键组件。在这项工作中，已经制造并设计了一种蜿蜒的铂基加热器。传输线矩阵 3D-TLM 方法和 COMSOL 软件用于预测均匀的温度分布。因此，在设计任何气体传感器和 MEMS 之前，微加热器热区的温度控制非常重要。压力。使用金属 (MOx) 技术可以将 MEMS 技术与其他技术结合起来。 Płyta grzejna jest kluczowym elementem tych czujników do kontrolowaniaTemperature Warstwy czujnikowej。 W tej pracy wykonano i zaprojektowano Meandrowy grzejnik na bazie platyny。 Metoda 3D-TLM 是一种通过 COMSOL 程序传输的 Macierz 语言，可用于测量温度。控制温度和微机电温度是 MEMS 项目中的一个重要问题。 ( 分析方法 3D-TLM i oprogramowaniem COMSOL Multiphysics dla czujnika gazu MEMS ) 关键词：基于 MEMS 的气体传感器、微型加热器、3D-TLM、COMSOL Multiphysics、均匀温度分布。主题：基于 MEMS 的气体传感器、微控制器、3D-TLM、COMSOL Multiphysics、温度传感器。简介基于 MEMS 的气体传感器（微机电系统）具有相当有趣的特点，例如高灵敏度、低成本和越来越小的尺寸。MOX 传感器是家庭、商业应用和工业安全设备中最主要的固态气体检测设备。然而，这种传感器的性能受到其加热板的显著影响，加热板控制传感层的温度，传感层应在加热器区域所需的温度范围内，以便检测不同的气体。这些传感器是由 Taguchi [1] 首次开发的。它们的工作原理基于金属氧化物层的电导率随周围气体性质的变化而变化。然后，这些传感器的结构可以小型化，因为它们的制造与微电子工艺兼容。这样可以降低成本，并可以将这些传感器和相关电子电路集成到单个组件中。许多研究都集中在微传感器的设计和建模上，例如 M. Dumitrescu 等人 [2] 和 S.Semancik 等人 [3] 的研究，他们在兼容的 SiO 2 平台上引入了多晶硅微加热板平台并集成了片上电路。M. Afridi 等人 [4] 设计了一种带有多晶硅微加热器的单片 MEMS 气体传感器。之后，J. Cerda Belmonte 等人 [5] 描述了检测 O 2 和 CO 气体的制造工艺。2007 年，Ching-Liang Dai 等人 [6] 设计了一种基于 WO3 纳米线的片上湿度传感器，JF Creemer 等人 [7] 提出了一种 TiN 微加热板。而 G.Velmathi 等人 [8] 提出了一种基于 TiN 微加热板的传感器。 [8] 提出了各种微加热器几何形状，M. Gayake、Jianhai Sun [9, 10] 通过有限元法模拟比较了这些基于聚酰亚胺的微加热器几何形状。2017 年，T. Moseley [11] 介绍了半导体金属氧化物气体传感器技术的发展进展，刘奇等人 [12] 综述了基于单层 SiO2 悬浮膜的新型形状微加热板的热性能可能性。R. Jagdeep 等人 [13] 提到
确定 CD-SEM 线边缘粗糙度测量的最佳参数
线边缘粗糙度 (LER) 的测量最近已成为光刻计量学界和整个半导体行业关注的话题。高级计量咨询小组 (AMAG) 是一个由国际 SEMATECH (ISMT) 联盟成员公司和美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的首席计量学家组成的委员会，该委员会正在开展一项研究 LER 指标并指导关键尺寸扫描电子显微镜 (CD-SEM) 供应商社区采用半导体行业支持的标准化解决方案。2003 年国际半导体技术路线图 (ITRS) 为粗糙度提供了新的定义。ITRS 设想了边缘和宽度粗糙度的均方根测量。还有其他可能的指标，其中一些将在此处进行调查。ITRS 设想将均方根测量限制在粗糙度波长范围内，并且测量重复性优于指定的公差。本研究解决了满足这些规范所需的测量选择。推导出必须测量的线长和沿该长度测量位置间距的表达式。结果表明，图像中的噪声会产生粗糙度测量误差，这些误差既有随机成分，也有非随机成分（即偏差）。在特殊测试图案中报告了对紫外线抗蚀剂和多晶硅的测量结果，这些材料的粗糙度是典型的。这些测量结果表明，粗糙度测量对噪声的敏感度主要取决于边缘检测算法的选择和聚焦的质量。当使用基于模型或 S 形拟合算法并且图像聚焦良好时，测量对噪声的敏感度较低。使用测得的紫外线抗蚀剂线的粗糙度特性并应用 90 nm 技术节点的 ITRS 要求，推导出的采样长度和采样间隔表达式意味着必须以 7.5 nm 或更短的间隔测量至少为节点 8 倍的线长（即 720 nm）。
国际机场混合可再生能源设计...
本文介绍了一种利用太阳能和风能以及备用发电机的混合可再生能源系统的设计和仿真。全球范围内都需要可靠的电能来支持对机场运营等大型社会和经济发展活动的投资。在坦桑尼亚，姆万扎国际机场 (MIA) 预计未来 25 年每年将消耗约 18 MVA 的电力来维持其运营。全球约 78-80% 的商业能源来自化石燃料。不可再生燃料和其他负面影响通过温室气体排放和二氧化碳排放导致全球变暖。此外，大多数集中式传统发电方法都需要输电系统，这增加了复杂性并且电能质量较差。因此，有必要提出使用混合耦合的混合可再生能源为机场供电。考虑的能源结构包括太阳能光伏 (PV)、风能、柴油发电机和电池。平均太阳辐射量为 5.38 kWh/m 2，平均风速为 4.20 m/s，通过安装 10 kW 风力涡轮机即可将其转换为电能（这足以为 MIA 发电）。柴油发电机和电池分别设计为 140 kVA 和 400 Ah，用于间歇性供电。该项目将运行 25 年；因此其成本合理，理由是可以收获估计的 18 MVA 能量输出，这将满足 MIA 的负载。进行了一些数学计算，最终，模拟结果显示了不同的技术经济混合可再生能源 (HRSE) 配置。所选系统的完整设计将包括一个 78.48 kW 光伏系统，该系统由 314 块 200 W 多晶硅模块、608 块 83.4 Ah、12 V 额定容量的电池、140 kVA 柴油发电机和 41.64 kVA 双向转换器组成。所选设计的净现值成本为 357,780.8 美元，能源成本为 0.93 美元/千瓦，最低可再生比例为 40.2%。
确定 CD-SEM 测量线边缘粗糙度的最佳参数
线边缘粗糙度 (LER) 的测量最近已成为光刻计量学界和整个半导体行业关注的话题。高级计量咨询小组 (AMAG) 是由国际 SEMATECH (ISMT) 联盟成员公司和美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的首席计量学家组成的委员会，该委员会有一个项目，旨在研究 LER 指标并指导关键尺寸扫描电子显微镜 (CD-SEM) 供应商社区采用半导体行业支持的标准化解决方案。2003 年国际半导体技术路线图 (ITRS) 包含了粗糙度的新定义。ITRS 设想了边缘和宽度粗糙度的均方根测量。还有其他可能的指标，其中一些在这里进行了调查。ITRS 设想将均方根测量限制在粗糙度波长范围内，该波长落在指定的工艺相关范围内，并且测量重复性优于指定的公差。本研究解决了满足这些规范所需的测量选择。推导出必须测量的线长表达式以及沿该长度的测量位置间距。图像中的噪声会产生粗糙度测量误差，这些误差既有随机成分，也有非随机成分（即偏差）。在特殊测试图案中报告了对紫外线抗蚀剂和多晶硅的测量结果，这些材料的粗糙度是典型的。这些测量表明，粗糙度测量对噪声的灵敏度主要取决于边缘检测算法的选择和焦点的质量。当使用基于模型或 S 形拟合算法且图像对焦良好时，测量对噪声的敏感度较低。使用测量的 UV 抗蚀剂线的粗糙度特性并应用 ITRS 对 90 nm 技术节点的要求，得出的采样长度和采样间隔表达式意味着必须以 7.5 nm 或更小的间隔测量至少 8 倍节点（即 720 nm）的线长。
____________________________ 这仅仅是一份意向通知 (NOI)。能源部可能会发布一份如本文所述的 FOA，也可能发布一份与本文所述有显著差异的 FOA。
• 旨在用于从太阳、水、风、地热或水热资源、增强型地热系统或其他可再生资源中生产能源的财产； • 燃料电池、微型涡轮机或能源存储系统及组件； • 电网现代化设备或组件； • 设计用于碳捕获、运输、去除、使用或封存/储存的财产； • 设计用于精炼、电解或混合任何可再生或低碳低排放的燃料、化学品或产品的设备； • 设计用于生产节能技术的财产（包括用于住宅、商业和工业应用）； • 轻型、中型或重型电动或燃料电池汽车、电动或燃料电池机车、电动或燃料电池船舶或电动或燃料电池飞机；上述汽车、机车、船舶或飞机的技术、组件和材料；以及与上述汽车、机车、船舶或飞机相关的充电或加油基础设施； • 总重量不低于 14,000 磅的混合动力汽车；以及用于这些车辆的技术、部件和材料；以及 • 旨在减少温室气体排放的其他先进能源资产。4 预期的 FOA 将包括生产或回收上述任何法定类别资产的项目，项目的选择部分基于它们是否有能力加强关键的国内供应链，从而到 2035 年实现零排放电力部门并在不迟于 2050 年实现全经济净零排放。例如，在美国能源部 2022 年 2 月的报告“保障美国的清洁能源供应链”中，能源部确定了优先需要取向电工钢、连续换位导体、铜线、铜绕组、大型电力变压器 (LPT) 套管、储油柜、储油柜内胆和大型电力变压器来支持电网现代化；多晶硅、压延玻璃、铝、锭、晶圆、电池、支架、模块、逆变器和系统来支持太阳能光伏；钕和镝合金、钕磁铁、半导体、大型铸件、锻造环和
SL-60 - 2–3nm+ 太阳能船用灯
灯光特性 光源 6 个超高强度 LED 可用颜色 红色、绿色、白色、黄色、蓝色 典型最大强度 (cd)† 红色 - 22.1 绿色 - 20.8 白色 - 29.2 黄色 - 16.9 可见范围 (nm) 2–3+ 水平输出（度） 360 垂直发散度（度） 7 反射器类型 全向 360° LED 反射器（美国专利号 6,667,582。澳大利亚专利号 778,918） 可用闪光特性 最多 256 个 IALA 建议（用户可调） 强度调节 以 25% 为增量可调 LED 预期寿命（小时） >100,000 电气特性 电流消耗（mA） 请参阅 Sealite 功率计算器 电路保护 集成 标称电压 (V) 3.6 自主性（天） >20（14 小时黑暗，12.5% 占空比） 温度范围-40 至 80°C 太阳能特性 太阳能模块类型 多晶硅 输出（瓦特） 1.4 电源电池类型 高级镍氢电池容量（Ah） 4 标称电压（V） 3.6 电池使用寿命平均 5 年 物理特性 机身材质 LEXAN® 聚碳酸酯 - 防紫外线 镜片材质 LEXAN® 聚碳酸酯 - 防紫外线 镜片直径（毫米/英寸） 150 / 5 7 / 8 镜片设计 外部光学元件，内部凹槽设计 安装 4 x 4.5 毫米安装孔 高度（毫米/英寸） 205 / 8 1 / 8 宽度（毫米/英寸） 177 / 7 质量（千克/磅） 0.9 / 2 1 / 8（SL-60LB 1 / 2 1 / 4 . SL-60-8AH 1 / 2 1 / 4 . SL-60LB-8AH 1.1 / 2 1 / 2 . SL-60LB-16AH 1.5 / 3 1 / 3 ) 产品预期寿命 长达 12 年 认证 CE EN61000-6-3:1997. EN61000-6-1:1997 质量保证 ISO9001:2008 防水 IP68 知识产权专利 美国专利号 6,667,582. 澳大利亚专利号 778,918 商标 SEALITE® 是 Sealite Pty Ltd 的注册商标 保修期 * 3 年 可用选项 • 8Ah 电池 • 16Ah 电池 • 200mm 螺栓型底座 • 50mm 杆式安装适配器板
太阳能电池金属化的高速旋转印刷
1弗劳恩霍夫太阳能系统ISE ISE，Heidenhofstraße2，79110 Freiburg，德国2 ASYS Automation Systems GmbH，Benzstr。10，89160德国Dornstadt 3 Gallus Ferd。 rüeschag，Harzbüchelstrasse34，9016 St. Gallen，瑞士4 Lehner Engineering GmbH，Ebnettstrasse 18，9032，瑞士5 1，0676德国Bitterfeld-Wolfen 7 Kurt Zecher GmbH，Görlitzerstr 2，33098德国Paderborn 8技术大学达姆斯塔特，Magdalenenstraße2，64289 Darmstadt，德国，德国9现在，现在有：Thieme Gmbh＆Co。KG，Robert-Bosch-Bosch-Straße1，79331 teneningen，Dergem摘要：在研究项目“摇滚明星”中开发的创新的高通量旋转式示范机上制造的钝化发射器和后触点（PERC）太阳能电池。 该机器旨在使用新开发的航天飞机运输系统执行最多600 mm/s的硅太阳能电池的金属化 在第一个实验中，多晶硅（MC-SI）PERC太阳能电池在后侧金属，旋转筛网印刷获得的平均转换效率为η= 19.3％，该效率与带有筛网印刷后侧的参考单元的水平相同金属化（η= 19.3％）。 此外，提出了一个9个细胞示范器模块，其中显示了在演示器和Smartwire（SWCT）互连上部分金属金属的细胞。10，89160德国Dornstadt 3 Gallus Ferd。rüeschag，Harzbüchelstrasse34，9016 St. Gallen，瑞士4 Lehner Engineering GmbH，Ebnettstrasse 18，9032，瑞士5 1，0676德国Bitterfeld-Wolfen 7 Kurt Zecher GmbH，Görlitzerstr2，33098德国Paderborn 8技术大学达姆斯塔特，Magdalenenstraße2，64289 Darmstadt，德国，德国9现在，现在有：Thieme Gmbh＆Co。KG，Robert-Bosch-Bosch-Straße1，79331 teneningen，Dergem摘要：在研究项目“摇滚明星”中开发的创新的高通量旋转式示范机上制造的钝化发射器和后触点（PERC）太阳能电池。该机器旨在使用新开发的航天飞机运输系统执行最多600 mm/s的硅太阳能电池的金属化在第一个实验中，多晶硅（MC-SI）PERC太阳能电池在后侧金属，旋转筛网印刷获得的平均转换效率为η= 19.3％，该效率与带有筛网印刷后侧的参考单元的水平相同金属化（η= 19.3％）。此外，提出了一个9个细胞示范器模块，其中显示了在演示器和Smartwire（SWCT）互连上部分金属金属的细胞。关键字：硅太阳能电池，制造和加工，PERC，金属化，旋转印刷1简介平面丝网印刷（FSP）是晶体硅（SI）太阳能电池的最新技术。尽管在过去几年内生产率取得了显着进步，但FSP工艺几乎接近技术限制，而吞吐量的进一步增加。应对这一挑战的一种非常有前途的方法是应用高生产性旋转印刷方法，即旋转丝网印刷（RSP）和Flexographic Printing（FXP）。在资助的研究项目中»摇滚明星«（合同号13N13512），一个项目合作伙伴和研究机构的项目构成，已经为开发旋转印刷演示机的雄心勃勃的目标设定了一个雄心勃勃的目标，该机器能够实现高达600 mm/s的太阳能电池的金属化，这与每小时8000 Wafers of 8000 wafers on Single of 600 mm/s的印刷速度相当于。在项目中，已经在开发材料，打印过程和机器平台方面做出了巨大的努力。在这项工作中，我们介绍了»摇滚之星«演示器的概念以及第一个PERC太阳能电池的I-V-结果，这些perc太阳能电池已使用演示器机器上的旋转丝网印刷单元进行了部分金属化。此外，还提出了通过互连»岩石星«Perc太阳能电池与智能Wire Interonnection技术（SWCT）制造的9细胞演示器模块。2摇滚乐演示器平台2.1演示器机器»摇滚明星的主要目标是开发用于硅太阳能电池高通量金属化的创新机器平台。雄心勃勃是要根据对所应用的旋转印刷方法进行基本和激烈评估的基础来实现具有高技术准备水平（TRL）[1] [1]的机器[2-6]。
从表面微机械微机械结构中进行超临界二氧化碳溶剂萃取
薄膜沉积、微米级图案化以及制造低应力薄膜的能力相结合，构成了表面微机械结构，其特征具有柔顺性，并且彼此或与基板紧密贴合。如果一个柔顺特征与相邻特征或基板接触，则表面之间可能会发生永久粘附。这可能发生在两个不同的时间。首先，当结构在牺牲释放蚀刻后干燥时，相邻表面毛细管状空间中截留的液体弯月面减少产生的表面张力可以将特征拉向彼此或基板 1, 2。强粘附力（在微力学中称为粘滞力）可能导致设备永久粘附，从而导致设备干燥后产量低得令人无法接受。表面也可能相互接触并在稍后的时间（例如在设备运行期间）保持粘连，从而导致可靠性故障。这两种故障中的后者可能成本更高。已经提出了各种机制来解释粘连的原因 1-6 。据报道，从冲洗液中沉淀出来的固体杂质会粘附两个表面，这是原因 1, 2 。结果表明，疏水设备之间的粘连的主要方式是通过范德华力，而范德华力和氢键都是造成亲水表面粘连的原因 3 。其他研究表明，多晶硅表面的吸附水是造成粘连的原因 4, 5 。静电吸引力也被认为是造成粘滞的原因 6 。有关粘滞力的综述，请参阅参考文献 2 和 3。已经做了大量工作来解决表面微机械结构中的粘滞故障 7-25 。除了保持无杂质的释放和冲洗工艺外，还应用了许多技术来提高产量和长期可靠性。冷冻升华是一种常用的提高产量的技术 7-11 。使用这种方法，将设备浸入溶剂（或溶剂混合物）中，然后冷冻。通过升华固化的溶剂（或溶剂混合物），可以避免液-气界面。Guckel 等人首次使用 MeOH 和 H 2 O 混合物进行冷冻升华来干燥微机械部件。7 。环己烷 8、9、叔丁醇 10 和对二氯苯 11 等溶剂也已升华以干燥设备。其他提高产量的技术包括使用光刻胶 12 或二乙烯基苯 13
信实工业签署投资 59.5 亿卢比的谅解备忘录
将在该州创造 100 万个就业机会 艾哈迈达巴德，2022 年 1 月 13 日：信实工业有限公司 (RIL) 今天与古吉拉特邦政府签署了谅解备忘录，总投资 59.55 亿卢比，作为 2022 年活力古吉拉特邦峰会投资促进活动的一部分。这些项目将在该州创造 100 万个直接/间接就业机会。为了使古吉拉特邦实现净零排放和零碳排放，RIL 提议在 10 到 15 年内在该州投资 50 亿卢比，建立 100 吉瓦的可再生能源发电厂和绿色氢能生态系统开发。RIL 将开发一个协助中小企业 (SME) 的生态系统，并鼓励企业家采用新技术和创新，从而充分利用可再生能源和绿色氢能。 RIL 的脱碳和创建绿色生态系统的举措源自尊敬的印度总理纳伦德拉·莫迪的愿景。在与古吉拉特邦政府协商后，RIL 已开始在库奇、巴纳斯坎塔和多莱拉为 100 吉瓦可再生能源发电项目寻找土地。该公司已申请在库奇 4.5 万英亩的土地。RIL 将再投资 6000 亿卢比建立新能源制造 - 综合可再生能源制造：1）太阳能光伏组件（多晶硅、晶片、电池和组件制造）；2）电解槽；3）储能电池；4）燃料电池。未来 3 至 5 年，RIL 将对现有项目和新项目再投资 2500 亿卢比。 RIL 还计划在 3 至 5 年内投资 7,500 亿卢比用于将 Jio 网络升级到 5G，并在 5 年内向 Reliance Retail 投资 3,000 亿卢比。关于 Reliance Industries Limited：Reliance 是印度最大的私营公司，截至 2021 年 3 月 31 日的年度综合营业额为 539,238 亿卢比（738 亿美元），现金利润为 79,828 亿卢比（109 亿美元），净利润为 53,739 亿卢比（74 亿美元）。Reliance 的业务涵盖碳氢化合物勘探和生产、石油精炼和营销、石化产品、零售和数字服务。
克服钙钛矿太阳能电池材料挑战的先进表征技术
第一代和第三代之间有了显著的改善，在保持功率效率的同时降低了制造成本。[2] 最近，高效低成本的混合有机-无机卤化物钙钛矿材料已经成为新一代光伏电池最有前途的光吸收剂，取代了商业上占主导地位的多晶硅材料。[3–8] 在 2012 年展示固态钙钛矿太阳能电池 (PSC) 之后 [9]，对 PSC 的研究量大幅增加。因此，PSC 的功率转换效率迅速发展，目前已超过 25%，超过了 Cu(In,Ga)Se 2 (CIGS) 和碲化镉 (CdTe)，接近单晶硅太阳能电池。[10] 尽管 PSC 具有很高的功率效率，但由于其稳定性低和可扩展性差，距离商业化还有很长的路要走。 [11,12] 在提高 PSC 效率的同时，研究人员还在尝试增强器件稳定性和开发大面积兼容的制造方法。 [13,14] 尽管做出了这些努力，但最先进的 PSC 在加速测试条件下只能保持几千小时的性能，相当于一年或更短的典型运行时间，[15–17] 而商业化至少需要 20 年的稳定性。 同时，PSC 模块的面积相对较小（800–6500 cm 2 ），仅表现出 16% 的能量转换效率 (PCE)，而商业化的硅太阳能电池在大模块尺寸（> 14 000 cm 2 ）下可实现超过 22% 的 PCE。 [18] 为确保长期稳定性和可扩展性，需要对钙钛矿材料进行准确表征。为了了解钙钛矿材料效率高、降解机制差、可扩展性差的根本原因，对吸收层和器件进行了广泛的表征。[19–22] 图 1 总结了常用于评估钙钛矿化学、形态、结构、光电特性的表征工具，表 1 总结了它们的分辨率极限。在化学范围内，钙钛矿材料的电子能带结构和化学组成已通过各种光谱学和测量方法阐明，包括紫外-可见光谱 (UV-vis)、紫外光电子能谱 (UPS)、开尔文探针强制显微镜 (KPFM)、X 射线光电子