图 7. 用于横向原子力显微镜 (AFM) 测量的集成尖端的静电硅致动器的 SEM 细节图(根据 [3])。 微结构和微元件:不是传感器或致动器的微型部件。例如:微透镜、镜子、喷嘴和梁;这些部件必须与其他元件组合才能提供有用的功能。 微系统和微仪器:将上述几种元件与适当的电子封装集成到微型系统或仪器中。它们往往非常特定于应用。例如:微型激光器、微型光谱仪、光学化学分析仪。制造这类系统的经济性往往使商业化变得困难。 微系统的工业应用:薄膜磁头、光盘、汽车部件、喷墨打印头、医疗应用、化学和环境应用。 4. 喷墨打印头 • 目前是微系统技术最大的应用之一。 • 一台典型的喷墨打印机每年要用掉好几个墨盒。 • 当今的喷墨打印机的分辨率为每英寸 1200 点 (dpi)。
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制造技术是一个不断发展的领域,它不断地融入新的迭代和创新,为当今的制造商创造激动人心的新机遇并打开进步之门。制造业面临着加工先进材料的挑战,这些材料需要高精度、尺寸精度、复杂几何形状和更好的表面光洁度,从而导致制造业发生重大转型。工业中对具有微型特征的微型部件的需求也与日俱增。为了应对这些工业挑战,特别是在“自力更生的印度”时代,工程专业的学生需要从研究人员那里了解各种先进的制造技术及其具体应用。印度政府的“印度制造”运动旨在将印度打造为全球制造业中心。拟议的在线短期课程的目标是与学员分享先进制造领域的演讲者为“Atma Nirbhar Bharat” 的可直接工业应用的产品进行/观察到的尖端研究和开发。演讲者是来自外国大学、印度理工学院 (IIT)、国家理工学院 (NIT)、CFTI 和其他知名机构的杰出研究人员。
创新、小巧、快速、精确。并且具有一定的节能效果。这些是许多先进技术和微型部件所需的要素。为了继续快速的技术进步,弗劳恩霍夫光机电系统研究所还向小型企业提供其研究组合、最先进的技术和设备以及 200 毫米和 300 毫米洁净室。 200 毫米晶圆上的 MEMS 技术和设备 在弗劳恩霍夫光机电系统研究所,MEMS 技术的技术开发和支持贯穿整个价值链:从单个工艺到技术模块再到完整技术,以及洁净室设备的工艺技术支持。i. 成功开发后,该研究所提供试生产或技术转让支持。弗劳恩霍夫光机电系统研究所涵盖的技术成熟度 (TRL) 为 3 至 8。因此,初创企业、中小型企业和没有自己工厂的公司尤其可以从低投资成本中受益。在传感器和执行器领域,弗劳恩霍夫光机电系统研究所开发了电容式超声波传感器等产品。这些是作为快速客户定制化调整的平台提供的。这为中小型公司提供了经济高效的高科技访问方式。对客户来说,另一个重要方面是:一种简单且经济高效的方法来测试其应用中的最新开发成果。为此,Fraunhofer IPMS 提供了评估套件。借助这些现成的设置,客户可以例如