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图 7. 用于横向原子力显微镜 (AFM) 测量的集成尖端的静电硅致动器的 SEM 细节图（根据 [3]）。 微结构和微元件：不是传感器或致动器的微型部件。例如：微透镜、镜子、喷嘴和梁；这些部件必须与其他元件组合才能提供有用的功能。 微系统和微仪器：将上述几种元件与适当的电子封装集成到微型系统或仪器中。它们往往非常特定于应用。例如：微型激光器、微型光谱仪、光学化学分析仪。制造这类系统的经济性往往使商业化变得困难。 微系统的工业应用：薄膜磁头、光盘、汽车部件、喷墨打印头、医疗应用、化学和环境应用。 4. 喷墨打印头 • 目前是微系统技术最大的应用之一。 • 一台典型的喷墨打印机每年要用掉好几个墨盒。 • 当今的喷墨打印机的分辨率为每英寸 1200 点 (dpi)。
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