斜面

深硅蚀刻应用的无损斜面工艺集成解决方案

硅制造技术已成功应用于开发芯片实验室应用设备。最近，我们提出了针对单核苷酸多态性 (SNP) 检测的芯片实验室 ​​(LoC) 系统 [1-2]。单核苷酸多态性 (SNP) 是指 DNA 序列中只有一个核苷酸的差异。每个人大约有 5 x 10 6 个 SNP [3- 4]。SNP 会导致人与人之间的差异，例如长度、头发和眼睛的颜色，但更重要的是，SNP 会导致对药物的反应和患病倾向的差异；因此，经济高效的 SNP 检测可以在个性化医疗保健中发挥重要作用。在我们提出的 LoC 系统中，主要组件是微柱过滤器、混合器、聚合酶链反应 (PCR) 腔和储液器。这些结构由 DSiE 制造。这些结构的目标深度为 250-300µm。