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随着 CMOS 技术缩放即将达到基本极限,对具有较低工作电压的节能器件的需求巨大。负电容场效应晶体管 (NCFET) 具有放大栅极电压的能力,成为未来先进工艺节点的有希望的候选者。基于铁电 (FE) HfO 2 的材料具有令人印象深刻的可扩展性和与 CMOS 工艺的兼容性,显示出将其集成到 NCFET 中以实现纳米级高性能晶体管的可行性。由于引入了 NC 效应,基于 HfO 2 的 NCFET 中的短沟道效应 (SCE) 与已经经过广泛研究的传统器件不同 [1]。具体而言,漏极诱导势垒降低 (DIBL) 在决定 SCE 的严重程度方面起着关键作用,在 NCFET 中表现出相反的行为。尽管人们已认识到施加电压对 NCFET 性能的影响 [ 2 ],但栅极电压扫描范围(V GS 范围)对先进短沟道 NC-FinFET 中的 DIBL 的影响仍然缺乏研究。
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