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World File Search System洁净室
您的洁净室-CWS
• Complete transparency at all times • Room-related electronic cleaning and training plans (with images/pictograms if required) in accordance with your SOPs • Ensure compliance with all your cleaning frequencies • Real-time management & real-time insight into the training status of employees • Reduction of manual documentation errors & time expenditure • Immediate generation of reports for internal controls, audits and inspections • Direct exchange & cooperation with your contact person at the cleaning service provider
半导体洁净室技术
AMHS 是现代晶圆厂的重要组成部分。AMHS 有多种实施类型。这些实施可以包括以下一个或多个系统：自动导航车 (AGV)、轨道导航车 (RGV)、高架提升车 (OHV) 和高架运输 (OHT) 系统。AGV 和 RGV 系统在较旧的 200mm 晶圆厂中更常见，而 OHV 和 OHT 系统在 300mm 晶圆厂中更常见。在图 1 中，我们展示了一个包含 OHV 和 OHT 系统的 AMHS 示例。在 300mm 晶圆厂中，结合这些系统，晶圆在一个称为前开式统一吊舱 (FOUP) 的封闭容器中进行处理和运输（FOUP 将在本演示的后面部分详细介绍）。FOUP 使用高架提升转运车 (OHT) 系统从一个晶圆厂处理工具运输到另一个晶圆厂处理工具。 AMHS 的主要集成商 Daifuku 表示，在大型工厂中，OHT 行驶轨道可延伸至 10 公里，最多可容纳数百辆车。为了让一切协调一致，工厂使用各种组合
管理洁净室风险
我们的洁净室手套根据法规 (EU) 2016/425 认证为 PPE 类别 III。适用的标准包括： • EN ISO 374-1: 2016 CK 型 - 危险化学品和微生物（渗透时间） • EN ISO 374-2: 2019 危险化学品和微生物（确定对渗透孔/缺陷的抵抗力）） • EN ISO 374-4: 2019 抗化学品降解性 • EN ISO 374-5:2016 微生物和病毒防护 • EN 420:2003 +A1:2009 防护手套的一般要求 • EN 16523-1:2015+A1:2018 化学品渗透（+IPA 70%**） • SO 16604:2004 与血液和体液接触 • ASTM D6978 化疗药物渗透测试（14 种药物） 用户舒适度和保护 20 风险：用户舒适度和保护 IPA70% • ** EN 16523-1:2015+A1:2018 化学品渗透 = IPA 70%