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World File Search System流量测量
2024 年燃气研讨会
（SLS Microelectronics Europe - Pall Corporation） 12:50 斯图加特大学自助餐厅午餐休息（Pfaffenwaldring 45） 14:15 气体流量测量与控制
质量保证指导文件 2.12
6.0 校准程序 ................................................................................................................ 1 / 18 6.1 概述 ................................................................................................................ 1 6.2 流量测量和 PM 的一般方面 2.5 采样器校准 ................................................................................................ 3 6.3 采样器流量测量系统的校准 ............................................................................................. 4 6.3.1 一般要求和指导 ...................................................................................... 5 6.3.2 流量校准标准 ...................................................................................... 7 6.3.3 流量标准的 NIST 可追溯性和认证 ............................................................. 8 6.3.4 通用流量校准程序概述 ............................................................................. 9 6.4 采样器温度传感器的校准 ............................................................................. 10 6.4.1 一般要求和指导 ................................................................................ 10 6.4.2 温度校准标准 ................................................................................ 11 6.4.3 温度标准的 NIST 可追溯性和认证........................12 6.4.4 通用温度校准程序概述 ..............................................................12 6.5 采样器气压传感器的校准 ..............................................................14 6.5.1 一般要求 ........................................................................................14 6.5.2 通用血压校准程序概述 ........................................................14 6.5.2.1 数字压力指示器 .............................................................15 6.5.2.2 Fortin 型气压计读数 .............................................16 6.5.2.3 无液气压计 .............................................................16 6.6 泄漏检查 .............................................................................................16 6.7 验证/校准频率 .............................................................................16
SEC-R100 系列：工业质量流量控制器 - HORIBA
SEC-R100 系列质量流量控制器的总体结构如右图所示。这些质量流量控制器具有流量测量部分，其中包括热传感器和匹配的旁路。流量控制由高性能电磁流量控制阀管理。这两个部分由电子设备结合，电子设备利用超快 CPU 和电子设备来管理 PID 和通信。
SEC-R100 系列：工业质量流量控制器 - HORIBA
SEC-R100 系列质量流量控制器的总体结构如右图所示。这些质量流量控制器具有流量测量部分，其中包括热传感器和匹配的旁路。流量控制由高性能电磁流量控制阀管理。这两个部分由电子设备结合在一起，电子设备利用超快 CPU 和电子设备来管理 PID 和通信。
SEC-R100 系列：工业质量流量控制器 - HORIBA
SEC-R100 系列质量流量控制器的总体结构如右图所示。这些质量流量控制器具有流量测量部分，其中包括热传感器和匹配的旁路。流量控制由高性能电磁流量控制阀管理。这两个部分由电子设备结合，电子设备利用超快 CPU 和电子设备来管理 PID 和通信。
SEC-R100 系列：工业质量流量控制器 - HORIBA
SEC-R100 系列质量流量控制器的总体结构如右图所示。这些质量流量控制器具有流量测量部分，其中包括热传感器和匹配的旁路。流量控制由高性能电磁流量控制阀管理。这两个部分由电子设备结合，电子设备利用超快 CPU 和电子设备来管理 PID 和通信。
SEC-R100 系列：工业质量流量控制器 - HORIBA
SEC-R100 系列质量流量控制器的总体结构如右图所示。这些质量流量控制器具有流量测量部分，其中包括热传感器和匹配的旁路。流量控制由高性能电磁流量控制阀管理。这两个部分由电子设备结合，电子设备利用超快 CPU 和电子设备来管理 PID 和通信。
智能数字 DDA、DDC、DDE
先进的工艺可靠性 智能驱动和微处理器控制确保计量精确、脉动小，即使泵计量高粘度或脱气液体也是如此。免维护的 FlowControl 系统可快速检测由气泡等引起的故障，然后将其显示在报警菜单中。AutoFlowAdapt 功能可根据工艺条件（例如变化的背压）自动调节泵。集成的流量测量使额外的监控和控制设备变得多余。