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SEC-R100 系列质量流量控制器的总体结构如右图所示。这些质量流量控制器具有流量测量部分,其中包括热传感器和匹配的旁路。流量控制由高性能电磁流量控制阀管理。这两个部分由电子设备结合,电子设备利用超快 CPU 和电子设备来管理 PID 和通信。
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