机构名称：
¥ 1.0
下一代 MKS π MFC（质量流量控制器）包括功能和性能方面的技术改进，可帮助半导体和高纯度薄膜应用中的用户提高工具吞吐量并降低整体系统成本。通过先进的数字算法提供对上游和下游压力扰动不敏感的实时精确流量控制。通过实现对工艺气体流量的实时控制，与传统的基于 PID 的数字 MFC 相比，其准确性和重复性得到了显着提高，从而实现了更好的腔室匹配。
MKS Instruments 的 piMFC 压力不敏感质量流量控制器
主要关键词
相关文件推荐
