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光罩
在半导体器件制造过程中，EUV 光刻技术必不可少，而光化学 EUV 掩模计量技术必不可少。在 PSI，我们正在开发 RESCAN，这是一种基于相干衍射成像 (CDI) 的平台，可以满足当前和未来的掩模检查分辨率要求。在 CDI 中，用相干光照射样品获得的衍射图案由像素检测器记录，这些衍射图案用于通过迭代相位检索算法重建物体的复振幅图像。虽然在传统光学系统中，像差会影响最终图像的分辨率，但 CDI 方法本质上是无像差的。尽管如此，仍需要仔细预处理衍射信号以避免重建图像中出现伪影。特别是，由于我们的系统以 6° 的入射角在反射模式下工作并使用平面检测器，因此有必要校正由于非远心性而导致圆锥失真的记录衍射图案。本文讨论了衍射数据预处理对重建图像质量的影响，并通过在 RESCAN 显微镜中应用优化的数据预处理流程展示了缺陷灵敏度的提高。结果，我们在光掩模上实现了低至 20 nm 的缺陷灵敏度，并在大视场中实现了均匀的图像质量。
住宅光伏发电的两阶段博弈论方法...
摘要 — 本文针对具有潜在光伏产消者的配电网，提出了一种新颖的两阶段博弈论住宅光伏 (PV) 板规划框架。一项创新贡献是将住宅光伏板位置分配模型与能源共享机制相结合，以增加光伏产消者的经济效益，同时促进住宅光伏板的合理安装。住宅光伏板规划决策的优化被制定为一个两阶段模型。在第一阶段，我们开发了一个基于 Stackelberg 博弈的随机双层能源共享模型，以确定具有不确定的光伏能量输出、负载需求和电价的光伏板的最佳尺寸。我们没有使用商业求解器直接解决所提出的双层能源共享问题，而是开发了一种基于有效下降搜索算法的解决方法，可以显着提高计算效率。在第二阶段，我们为所有光伏产消者提出了一个基于随机规划的住宅光伏板部署模型。该模型被制定为最优功率流 (OPF) 问题，以最小化有功功率损耗。最后，在IEEE 33节点和123节点测试系统上的仿真证明了所提方法的有效性。
用于首字母缩略词识别和消歧的 Primer AI 系统
歧义缩略词的盛行使得科学文献对于人类和机器来说都更难理解，因此需要能够自动识别文本中的缩略词并消除其含义歧义的模型。我们引入了用于首字母缩略词识别和消歧的新方法：我们的首字母缩略词识别模型将学习到的标记嵌入投射到标签预测上，我们的首字母缩略词消歧模型找到具有类似句子嵌入的训练示例作为测试示例。与之前提出的方法相比，我们的两个系统都实现了显着的性能提升，并且在 SDU@AAAI-21 共享任务排行榜上表现出色。我们的模型部分在针对这些任务的新远程监督数据集上进行了训练，我们将其称为 AuxAI 和 AuxAD。我们还发现了 SciAD 数据集中的重复冲突问题，并形成了 SciAD 的去重版本，我们称之为 SciAD-dedupe。我们公开发布了这三个数据集，并希望它们能够帮助社区在科学文献理解方面取得进一步进展。
国立彰化师范大学电子工程学系硕士班毕业条件表暨课程...
2 4光电实验技术光电实验室光电工程概论33 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3技术工业和微电源行业的技术半导体设备半导体产业技术专论33半导体行业和技术的特殊主题半导体磊晶技术33半导体外延技术