描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。隔热加热器和温度传感元件可帮助这些传感器快速响应空气或气体流量。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。这些传感器经过全面校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的校准温度范围内进行补偿。最先进的基于 ASIC 的补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,其中的温度敏感电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可对流量提供可重复的响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品非常坚固。它们是根据 ISO 9001 标准设计和制造的。
描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。热隔离加热器和温度传感元件有助于这些传感器对空气或气体流量做出快速响应。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。传感器经过完全校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在校准温度范围 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 内进行补偿。最先进的 ASIC 补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,带有沉积有铂和氮化硅薄膜的温度敏感电阻。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可提供对流量的可重复响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品极其坚固耐用。它们是按照 ISO 9001 标准设计和制造的。
2 泰国微电子中心(TMEC)、国家电子和计算机技术中心、国家科学技术发展局、Chachoengsao 24000,泰国电子邮件:a s6209091960016@email.kmutnb.ac.th,b,* ekachai.j@tggs.kmutnb.ac.th(通讯作者),c hwanjit.rattanasonti@nectec.or.th,d putapon.pengpad@nectec.or.th,e karoon.saejok@nectec.or.th,f chana.leepattarapongpan@nectec.or.th,g ekalak.chaowicharat@nectec.or.th,h wutthinan.jeamsaksiri@nectec.or.th 摘要。本文针对低压工作范围提出了一种改进的微机电系统 (MEMS) 压阻式压力传感器设计,该传感器由花瓣边缘、横梁、半岛、三个横梁和一个中心凸台组合而成,以提高传感器性能,即灵敏度和线性度。利用有限元法 (FEM) 预测 MEMS 压阻式压力传感器在 1-5 kPa 施加压力下的应力和挠度。利用幂律制定纵向应力、横向应力和挠度的函数形式,然后将其用于优化所提设计的几何形状。仿真结果表明,所提设计能够产生高达 34 mV/kPa 的高灵敏度,同时具有 0.11% 满量程 (FSS) 的低非线性。半岛、三个横梁和中心凸台的设计降低了非线性误差。通过增加花瓣边缘宽度可以提高灵敏度。还将所提设计的传感器性能与文献中先前的设计进行了比较。比较结果表明,所提设计的性能优于先前的设计。关键词:MEMS、压阻式压力传感器、有限元法、灵敏度、线性度。
描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。隔热加热器和温度传感元件可帮助这些传感器快速响应空气或气体流量。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。这些传感器经过全面校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的校准温度范围内进行补偿。最先进的基于 ASIC 的补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,其中的温度敏感电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可对流量提供可重复的响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品非常坚固。它们是根据 ISO 9001 标准设计和制造的。
描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。隔热加热器和温度传感元件可帮助这些传感器快速响应空气或气体流量。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。这些传感器经过全面校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的校准温度范围内进行补偿。最先进的基于 ASIC 的补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,其中的温度敏感电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可对流量提供可重复的响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品非常坚固。它们是根据 ISO 9001 标准设计和制造的。
描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。隔热加热器和温度传感元件可帮助这些传感器快速响应空气或气体流量。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。这些传感器经过全面校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的校准温度范围内进行补偿。最先进的基于 ASIC 的补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,其中的温度敏感电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可对流量提供可重复的响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品非常坚固。它们是根据 ISO 9001 标准设计和制造的。
• A/V 接收器 • 24 位分辨率 • DVD 电影播放器 • 模拟性能(V CC = 5 V): • 高端 PC 的 DVD 附加卡 – 动态范围:106 dB • DVD 音频播放器 – SNR:106 dB,典型值 • HDTV 接收器 – THD+N:0.002%,典型值 • 汽车音响系统 – 满量程输出:3.9 Vp-p,典型值 • 需要 24 位音频的其他应用 • 4×/8× 过采样数字滤波器: – 阻带衰减:-50 dB – 通带纹波:±0.04 dB PCM1780/81/82 是一种 CMOS、单片、 • 采样频率:5 kHz 至 200 kHz 集成电路,其中包括立体声数模转换器和支持电路。 、384 f S 、小型 16 引线 SSOP 封装。数据转换器使用 TI 的增强型多级 delta-sigma 架构,可实现出色的动态性能和更高的时钟抖动容限。PCM1780/81/82 接受 16 至 24 位数据的行业标准音频数据格式,从而轻松实现与音频 DSP 和解码器芯片的左对齐接口。支持高达 200 kHz 的采样率。 PCM1780/82 通过三线串行控制端口提供全套用户可编程功能,支持寄存器写入功能。 PCM1781 通过四个控制引脚提供一组用户可编程功能。 PCM1780 与 PCM1680(8 通道 DAC)引脚兼容。 – 开漏输出零标志 (PCM1782) • 硬件控制 (PCM1781): – I2S 和 16 位字,右对齐 – 数字去加重 – 软静音 – L、R 通道公共输出的零标志 • 电源:5V 单电源 • 小型 16 引脚 SSOP 封装(150 mil) • 与 PCM1680 引脚兼容
• A/V 接收器 • 24 位分辨率 • DVD 电影播放器 • 模拟性能(V CC = 5 V): • 高端 PC 的 DVD 附加卡 – 动态范围:106 dB • DVD 音频播放器 – SNR:106 dB,典型值 • HDTV 接收器 – THD+N:0.002%,典型值 • 汽车音响系统 – 满量程输出:3.9 Vp-p,典型值 • 需要 24 位音频的其他应用 • 4×/8× 过采样数字滤波器: – 阻带衰减:-50 dB – 通带纹波:±0.04 dB PCM1780/81/82 是一种 CMOS、单片、 • 采样频率:5 kHz 至 200 kHz 集成电路,其中包括立体声数模转换器和支持电路。 f S 、384 f S ,小型 16 引线 SSOP 封装。数据转换器 512 f S 、768 f S 、1152 f S 具有自动检测功能,采用 TI 增强型多级 delta-sigma 架构 • 软件控制 (PCM1780、PCM1782):实现出色的动态性能和更高的时钟抖动容限。PCM1780/81/82 接受行业标准音频数据格式,数据格式为 16 至 24 位数据,可轻松与音频 DSP 和解码器芯片进行左对齐接口。– 数字衰减:支持高达 200 kHz 的模式可选采样率。• 0 dB 至 –63 dB,0.5 dB/步进 PCM1780/82 通过三线串行控制端口提供全套用户可编程功能,支持寄存器写入 – 数字去加重功能。PCM1781 通过四个控制引脚提供一组用户可编程功能。– 软静音 – 每个输出的零标志 PCM1780 与 PCM1680(8 通道 DAC)引脚兼容。– 开漏输出零标志 (PCM1782) • 硬件控制 (PCM1781): – I2S 和 16 位字,右对齐 – 数字去加重 – 软静音 – L、R 通道公共输出的零标志 • 电源:5V 单电源 • 小型 16 引脚 SSOP 封装 (150 mil) • 与 PCM1680 引脚兼容
1.1 简介 自 1951 年以来,ENDEVCO 一直是振动测量领域的领导者,并在振动传感器设计方面做出了许多贡献。其中包括:第一个能够在低温至 +750°F 的温度下连续工作的压电加速度计、第一个剪切设计加速度计和世界上最小的压电加速度计。为了支持广泛的振动传感器系列,ENDEVCO 提供了各种各样的信号调节器,包括第一个晶体管电荷放大器、第一个计算机可编程电荷放大器和第一个基于真正数字跟踪滤波器的机载振动监测系统。信号调节器 为了支持其传感器在大规模测试中的使用,ENDEVCO 开发了几代信号调节器系统。直到最近,最先进的振动实验室还由一排手动控制信号调节器组成。这些信号调节器具有手动控制的开关和旋钮,用于设置满量程范围、灵敏度和滤波器角,并且设置信息是手动记录的。计算机控制信号调节器为了消除放大器设置不正确的风险,ENDEVCO 率先提出了计算机控制信号调节器的概念。第一代是多通道放大器控制系统 (MAC)。第二代是计算机控制放大器系统 (CCAS)。CCAS 系列由五个不同的系统组成,它们使用相同的机架和带有不同模拟板的数字接口组件。这些单元通过 IEEE-488 接口总线从计算机/控制器接收设置命令,以便可以预先编程测试。此外,这些设备提供全面的自检和自校准功能,大大提高了测试数据的可靠性。用户反馈表明,这些设备通过缩短测试周期、防止重新测试和消除过度测试,很快就收回了成本。手动/计算机控制信号调节器 前两代计算机控制放大器的经验现已应用于第三代产品线:可编程桥式调节器和可编程实验室信号调节器。这些设备是独立控制的,每个设备都包含自己的电源,以确保单通道完整性。型号 136 具有手动和计算机可编程功能。这款直流放大器是 Endevco 致力于改进最先进的传感测量技术的一个例子。新一代产品体积更小,功能更多,并将继续扩展以满足日益广泛的应用需求。