介绍了一种用于在纳米表面结构上制造 TiN 纳米结构的电感耦合等离子蚀刻工艺。使用 Cl 2 /Ar/N 2 等离子体,在 SiO 2 上可实现 50 的选择性。研究了 N 2 流速对蚀刻速率和 TiN 侧壁上非挥发性残留物的影响。当 N 2 流速增加到 50 sccm 时,观察到 TiN 侧壁上非挥发性残留物的沉积发生变化。介绍了用 TiN 纳米结构侧壁制造的 TiN 器件的电流密度-电压特性。分别用低和高 N 2 流速蚀刻的两个不同样品的测量电流密度表明,仅在低 N 2 流速下,清洁后才会在侧壁上沉积一层绝缘层。VC 2015 美国真空学会。 [http://dx.doi.org/10.1116/1.4936885]
微量金属对所有生物体的生长都至关重要。了解这些微量金属在新陈代谢中的作用对于维持生物体的稳定状态至关重要。此外,由于各种污染,人类还面临着各种有害重金属的不断接触。总的来说,这些方面导致了分析技术领域的研究和发展,这些技术可以帮助确定我们细胞中这些微量金属的含量。电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS) 是一种分析技术,用于分析各种样品(包括生物样品)中的元素组成。近年来,单细胞 ICP-MS (scICP-MS) 技术已广泛应用于医学和生物领域,用于分析细菌、真菌、微生物、植物和哺乳动物中的单个活细胞。scICP-MS 的样品引入系统由传统的气动雾化器和总消耗喷雾室组成。气动雾化器将样品(细胞悬浮液)液体转化为雾气。虽然使用雾化器的传统 scICP-MS 分析对于酵母细胞的传输效率达到 10%,但由于哺乳动物细胞的脆弱性,它无法用于哺乳动物细胞。众所周知,化学固定可以增强哺乳动物细胞的强度,但它会极大地影响元素含量,导致分析不准确。因此,需要开发一种不会对哺乳动物细胞造成任何损害的样品引入系统。为此,来自日本的一组研究人员现已证明微滴发生器 (µDG) 作为样品引入系统的潜力,可用于高效定量分析哺乳动物细胞的元素。该团队由日本千叶大学药学研究生院的助理教授 Yu-ki Tanaka 以及 Hinano Katayama 女士、Risako Iida 女士和 Yasumitsu Ogra 教授组成,他们将 µDG 引入 ICP-MS 的样品引入系统,表明该系统能够准确地进行元素分析。他们的研究成果于 2024 年 12 月 2 日发表在《分析原子光谱杂志》第 40 卷上。Tanaka 博士进一步阐述道:“到目前为止,scICP-MS 已应用于细菌、真菌、植物细胞和红细胞。我们将 scICP-MS 技术的潜力扩展到哺乳动物培养细胞,开发了一种用于测量哺乳动物培养细胞中元素含量的强大分析技术。”在研究中,研究人员使用了两种样品引入系统进行颗粒和细胞样品分析。第一个是传统系统,包括同心玻璃雾化器和总消耗喷雾室。另一个系统包括插入制造的 T 形玻璃管道中的 µDG,玻璃管的一端连接全消耗雾化室,另一端连接ICP炬管。研究人员发现,使用µDG后,细胞运输效率大幅提高。此外,他们还估算了K562细胞(也称为人类慢性粒细胞白血病K562细胞)中的镁、铁、磷、硫和锌,发现µDG保持了细胞的原始结构,而传统系统通常会改变细胞的结构。因此,它非常适合单细胞元素分析,因为它不会影响细胞的结构,从而可以高效地检测细胞。“我们的
1 芝加哥大学詹姆斯弗兰克研究所,美国伊利诺伊州芝加哥 60637 2 芝加哥大学物理系,美国伊利诺伊州芝加哥 60637 3 斯坦福大学物理与应用物理系,美国加利福尼亚州斯坦福 94305 4 西北大学物理与天文系,美国伊利诺伊州埃文斯顿 60208 5 耶鲁大学耶鲁量子研究所,美国康涅狄格州纽黑文 06511 6 中国科学技术大学合肥国家微尺度物质科学研究中心和物理科学学院,中国合肥 230026 7 中国科学技术大学上海量子科学研究中心和中科院量子信息与量子物理卓越创新中心,上海 201315 8 普林斯顿大学物理系,美国新泽西州普林斯顿 08544 9 芝加哥大学普利兹克分子工程学院,美国伊利诺伊州芝加哥60637,美国
描述了一种绝对测量等离子体边缘真空紫外 (VUV) 光子通量的新方法。让等离子体产生的光撞击远离等离子体的带负偏压的镀金铜基板。测量由此产生的光电子发射电流,然后根据已知的 Au 光电子产额找到绝对光子通量。该方法用于量化氩/氦电感耦合等离子体 (ICP) 产生的 VUV 光量。观察到 104.82 和 106.67 nm 的强发射,对应于氩的 1s 2 和 1s 4 共振态。在远程位置测得的最大积分 VUV 光子通量为 3.2 × 10 13 光子/cm 2 s。估计这对应于 ICP 边缘 5 × 10 15 光子/cm 2 s 的通量,在类似条件下报告的值范围内。
高温(7000-8000 k)高电子密度(1014-1016cm)许多要素的电离程度可观程度的电离同时多元能力(超过70个要素(包括P和S)超过70个元素,包括P和S)低背景排放和相对较低的化学干扰高稳定性高稳定性准确性和准确性iestion for Optim-1 e元素(最佳量)。 宽线性动态范围(LDR)(四到六个数量级)。适用于耐火元件成本效益分析
摘要:人们普遍认为溶解有机物 (DOM) 可以控制环境中痕量金属的溶解度和反应性。然而,控制金属-DOM 络合的机制仍然不清楚,主要是因为在组成 DOM 的复杂有机化合物混合物中分离和定量金属-有机物种的分析难度很大。本文,我们描述了一种使用液相色谱在线电感耦合等离子体质谱 (LC-ICP-MS) 对有机-金属络合物进行定量分离和元素特异性检测的方法。该方法实施柱后补偿梯度以稳定整个 LC 溶剂梯度中的 ICP-MS 元素响应,从而克服了实现 LC-ICP-MS 定量准确度的主要障碍。通过外部校准和内部标准校正,该方法得到的有机-金属络合物浓度始终在其真实值的 6% 以内,无论络合物的洗脱时间如何。我们利用该方法评估了四种固定相(C18、苯基、酰胺和五氟酰基苯基丙基)对苏旺尼河富里酸和苏旺尼河天然有机质中环境相关痕量金属(Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Cd 和 Pb)回收率和分离率的影响。C18、酰胺和苯基相通常可获得最佳的金属回收率(除 Pb 外,所有金属的回收率均 > 75%),其中苯基相分离极性物质的程度大于 C18 或酰胺相。我们还对氧化和还原土壤中有机结合的 Fe、Cu 和 Ni 进行了分馏,揭示了土壤氧化还原环境中金属-DOM 形态的不同。通过对 DOM 结合金属进行定量分馏,我们的方法为加深对整个环境中金属-有机络合物的机理理解提供了一种手段。■ 引言
电负性电感耦合等离子体 (ICP) 用于微电子工业中半导体制造的导体蚀刻。天线功率和偏置电压的脉冲化提供了额外的控制,以优化等离子体 - 表面相互作用。然而,由于在前一次余辉结束时电子密度较低,因此脉冲 ICP 在功率脉冲开始时易受电容到电感模式转变的影响。电容 (E) 到电感 (H) 模式的转变对前一次余辉结束时等离子体的空间结构、电路(火柴盒)设置、操作条件和反应器配置(包括天线几何形状)很敏感。在本文中,我们讨论了通过计算研究的结果,研究了在 Ar/Cl 2 和 Ar/O 2 气体混合物中维持的脉冲 ICP 中的 E - H 跃迁,同时改变操作条件,包括气体混合物、脉冲重复频率、功率脉冲的占空比和天线几何形状。在 Ar/Cl 2 混合气体中维持的脉冲 ICP 容易发生显著的 E – H 跃迁,这是因为余辉期间与 Cl 2 发生热解离附着反应,从而降低了预脉冲电子密度。这些突然的 E – H 跃迁会从等离子体边界(尤其是天线下方)形成的鞘层发射静电波。在 Ar/O 2 混合气体中观察到的更平滑的 E – H 跃迁是由于缺乏对 O 2 的热电子附着反应,导致功率脉冲开始时的电子密度更高。讨论了入射到晶片和天线下方的介电窗口上的离子能量和角度分布 (IEAD)。天线的形状影响 E – H 跃迁和 IEAD 的严重程度,天线具有面向等离子体的较大表面积,会产生较大的电容耦合。通过将计算出的电子密度与实验测量值进行比较来验证模型。
摘要:锂镍锰钴(LiNi x Co y Mn z ,NCM)复合材料在先进电子器件和材料/合金中的应用十分广泛,其杂质成分分析是评价其质量的重要领域。本文提出了采用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)测定NCM复合材料中硫的方法。研究了Si、Fe、Mn、Mg、Ca、Ni、Cr及主基体共存杂质的影响。在优化的条件下,硫在0~10 mg/L(±0.9999)范围内呈现良好的线性关系,加标回收率为98.11~102.07%,RSD为3.69%,共存杂质含量低于5.0%对硫的测定无明显干扰。该方法可以作为NCM复合材料中痕量硫含量的可靠测定。
1. Lakhdari, A:无线能量传输系统的开发:生物医学领域的应用。(2020 年)。2. Heidarian, M. 和 Burgess, SJ(2020 年)。一种优化谐振线圈和电感链路能量传输的设计技术。IEEE 微波理论与技术学报,69 (1),399-408。3. Gosselin, B.(2011 年)。神经记录微系统的最新进展。传感器,11 (5),4572-4597。4. Tianjia Sun、Xiang Xie 和 Zhihua Wang:用于医疗微系统的无线能量传输。(2013 年)。5. Kiani, M. 和 Ghovanloo, M.(2012 年)。设计高性能感应电能传输链路的品质因数。IEEE 工业电子学报,60 (11),5292-5305。6. Mirbozorgi, SA (2015)。用于植入式医疗设备的高性能无线电源和数据传输接口。7. Kiani, M.、Jow, UM 和 Ghovanloo, M. (2011)。设计和优化 3 线圈感应链路以实现高效的无线电能传输。IEEE