电子产品中的辐射损伤减轻仍然是一个挑战,因为唯一成熟的技术——热退火,并不能保证获得良好的结果。在本研究中,我们介绍了一种非热退火技术,其中使用来自非常短持续时间和高电流密度脉冲的电子动量来瞄准和调动缺陷。该技术在 60 Co 伽马辐照(5 × 10 6 拉德剂量和 180 × 10 3 拉德 h − 1 剂量率)GaN 高电子迁移率晶体管上进行了演示。在 30 °C 或更低温度下,饱和电流和最大跨导完全恢复,阈值电压部分恢复。相比之下,300 °C 下的热退火大多使辐照后特性恶化。拉曼光谱显示缺陷增加,从而降低了二维电子气 (2DEG) 浓度并增加了载流子散射。由于电子动量力不适用于聚合物表面钝化,因此所提出的技术无法恢复栅极漏电流,但性能优于热退火。这项研究的结果可能有助于减轻电子器件中某些形式的辐射损伤,而这些损伤很难通过热退火实现。© 2022 电化学学会(“ ECS ” )。由 IOP Publishing Limited 代表 ECS 出版。[DOI:10.1149/2162-8777/ ac7f5a ]
1 福州大学-晋江联合微电子研究院,福州大学锦江科教园区,晋江 362200。2 香港城市大学物理系,香港九龙塘 999077。3 中国科学院西安光学精密机械研究所,瞬态光学与光子学国家重点实验室,西安 710119。4 中国科学院大学,北京 100049。5 泉芯科技,西安 710311。6 福州大学齐山校区微电子科学与技术系,福州 350108。 7 浙江省光场操控重点实验室,浙江科技学院物理系,杭州 310018,中国 *通讯作者:SH Wang,电子邮件:shwang@fzu.edu.cn;ST Chu,电子邮件:saitchu@cityu.edu.hk 本文件包括:第 1 节:热动力学模型 第 2 节:具有非线性 TO 和克尔效应的热动力学 THG 模型 第 3 节:微腔中 THG 的热自稳定性 第 4 节:THG 中的线性和非线性 TO 相位失配 第 5 节:通过 THG 确定性地产生非热模式 第 6 节:确定线性和非线性 TO 系数比 τ p
此前最低电价为 1.64 美分/千瓦时,于 2019 年 7 月在葡萄牙制定。巴西的 1.75 美分/千瓦时表明这些水平是合理的,没有因任何经济参数的任意调整而偏离。洛杉矶地区在类似的时间内又实现了低于 2 美分/千瓦时的电价。然而,洛杉矶项目的重要意义在于为克服间歇性而使用的储能成本,总价格为 3.96 美分/千瓦时。这就提出了一个问题:在任何比较数字的成本中,是否应包括通过燃气调峰电厂或储能避免间歇性。从这个角度来看,这些投标的竞争力,即使是老旧且已完全折旧的燃煤电厂,其平准化能源成本 (LCOE) 值也约为 3.3 美分/千瓦时。
这三卷工作的第1卷旨在提供在工业上使用的低温,部分电离的洛伦兹血浆原理的背景。卷2和3旨在提供与等离子体相关的过程和设备的描述,这些过程和设备具有实际或潜在的商业重要性。文本假设普通的学生或执业工程师最近没有参加等离子体物理学的课程,并且具有大二一级结束的物理和微积分背景。这三卷旨在由所有工程和物理科学学科的学生在高年级或一年级的研究生级别上用作教科书,并通过执业工程师作为参考来源。将第二卷用作教科书或参考资源,假设读者熟悉卷1中的材料,或者在低温洛伦兹血浆物理学中具有等效背景。血浆物理学和工业等离子体中重要的物理过程的介绍包含在第1卷的第一章中。第1卷第7章至第7章描述了在工业上使用的离子和电子束的来源以及电离辐射的来源。第1卷第8章至第10章描述了直流电气放电的物理和技术,第11至13章描述了RF等离子体来源的物理和技术。在第二卷中,第14章专门研究了材料科学的某些方面,这些方面是血浆加工应用的基础。第19章致力于等离子体相关参数对等离子体处理结果的影响。第15章和第16章分别专门用于大气和真空等离子体来源,第17章是在工业上经常使用的血浆反应堆(或血浆“工具”),以及第18章用于这些反应堆中使用的专门方法和设备。第20章涵盖了最常用的诊断方法,用于测量独立的输入变量,等离子体参数和等离子体处理的结果。第21至25章涵盖工业应用,归类为材料的非热等离子体处理。第3卷将涵盖热等离子体处理和等离子体设备。