这三卷工作的第1卷旨在提供在工业上使用的低温,部分电离的洛伦兹血浆原理的背景。卷2和3旨在提供与等离子体相关的过程和设备的描述,这些过程和设备具有实际或潜在的商业重要性。文本假设普通的学生或执业工程师最近没有参加等离子体物理学的课程,并且具有大二一级结束的物理和微积分背景。这三卷旨在由所有工程和物理科学学科的学生在高年级或一年级的研究生级别上用作教科书,并通过执业工程师作为参考来源。将第二卷用作教科书或参考资源,假设读者熟悉卷1中的材料,或者在低温洛伦兹血浆物理学中具有等效背景。血浆物理学和工业等离子体中重要的物理过程的介绍包含在第1卷的第一章中。第1卷第7章至第7章描述了在工业上使用的离子和电子束的来源以及电离辐射的来源。第1卷第8章至第10章描述了直流电气放电的物理和技术,第11至13章描述了RF等离子体来源的物理和技术。在第二卷中,第14章专门研究了材料科学的某些方面,这些方面是血浆加工应用的基础。第19章致力于等离子体相关参数对等离子体处理结果的影响。第15章和第16章分别专门用于大气和真空等离子体来源,第17章是在工业上经常使用的血浆反应堆(或血浆“工具”),以及第18章用于这些反应堆中使用的专门方法和设备。第20章涵盖了最常用的诊断方法,用于测量独立的输入变量,等离子体参数和等离子体处理的结果。第21至25章涵盖工业应用,归类为材料的非热等离子体处理。第3卷将涵盖热等离子体处理和等离子体设备。
主要关键词