1.引言在摩尔定律的驱动下,半个多世纪以来半导体产业一直致力于缩小特征尺寸。最近,13.5 纳米极紫外光刻 (EUVL) 技术已经应用于 5 纳米节点 HVM。由于目前 0.33 NA 的限制,EUVL 无法分辨小于 13 纳米线/线距的特征。与 EUVL 相比,定向自组装 (DSA) 表现出高达 5 纳米 L/S 的极精细分辨率,被视为亚 10 纳米甚至亚 5 纳米特征尺寸的潜在图案化技术[1-9]。最近,含金属 EUV 光刻胶已被开发用于提高超薄 EUV 光刻胶膜的抗蚀刻性[10,11]。最近,我们的研究小组报道了一系列具有氟化嵌段的 BCP,经过中等温度下 1 分钟的热退火后迅速形成亚 5 纳米域[12,13]。我们假设氟化侧链对超精细分辨率和图案化速度起着关键作用。然而,由于薄膜超薄,抗蚀刻性是 5 纳米以下 DSA 材料的主要问题。
自 2002 年 10 月以来,BCPS 一直与公共部门管理咨询和运营改进公司公共咨询集团 (PCG) 合作。与 PCG 的原始协议是在 2002 年通过竞争性招标程序达成的,但从那时起,与 PCG 的所有后续协议都是通过直接谈判达成的,并且在没有竞争性招标的情况下签订了合同,并根据佛罗里达州采购标准规则 6A-I.012 11(b)、佛罗里达州行政法规获得软件豁免,并由佛罗里达州法规第 1010.04(4)(a) 条授权。在原始协议中,PCG 提供与开发特殊学生 (ESE) 基于互联网的电子管理系统 (EMS) 相关的商品和服务。截至 2021 年 6 月 30 日,随后与 PCG 直接谈判的每一份合同均包括之前开发的软件的订阅续订以及作为现有软件的增强或新软件的开发的商品和服务,包括咨询服务,包括:医疗补助账单,以协助管理人员和教师满足《2004 年残疾人教育法案》(IDEA)的报告要求、EasyFAX、SmartScan、Gifted Module、PaperClip、ESPE、Advance Reporting、Behavior Plus、EDplan、学生影响信息应用程序、EDPlan Connect、学生威胁/行为威胁评估模块、行为威胁评估模块之外的自杀风险评估。
除极少数例外情况外,这都是必要的。32,33 由于 c 值低,该系统的特征尺寸很难达到 22 纳米以下。26,34 因此,人们对这种 BCP 以及包含相关片段的相关 BCP 进行了广泛关注,以提高其在下一代光刻技术中的性能。35,36 然而,到目前为止,通过在低温下快速热退火(例如几分钟)在多功能基底上的小特征尺寸的 BCP 薄膜内获得正常排列的圆柱形或层状畴仍然是一项艰巨的挑战。此前,一些研究小组报道,聚甲基丙烯酸酯疏水嵌段(表示为 PMA(Az))侧链中含偶氮苯的液晶 (LC) 链段有助于通过热退火或溶剂退火形成正常排列的圆柱形微区 37 – 39,包括聚环氧乙烷 (PEO) 40 – 42 和聚 (4-乙烯基吡啶) (P4VP) 43。对于这些 BCP,圆柱体的相窗口相当宽。此外,P4VP- b -PMA(Az) 薄膜需要长期溶剂退火,43 这不适合用于下一代光刻技术。而且,这些 BCP 的蚀刻选择性不足。44,45
个人健康与健康秋季2021年为药剂师提供财政选举2020年春季的财务,以展示个人理财P1秋季2020年秋季2020年临时教育融合学习体验6内容专家2018年秋季2021年秋季2021年秋季高血压P1春季春季纵向纵向纵向春季春季春季春季2018年个人健康和健康护理诊所夏季夏季临时班级跑步2019年夏季跑步2019赛季夏季:实践网站:慈悲医疗诊所营养厨房厨房选举2023年介绍跨专业烹饪医学的护理点测试和治疗选择性秋季2023年2023年,以呈现门诊测试的现代练习练习VI和VI课程协调员的当代方面VI课程协调员2016年秋季2016年春季的心脏启动式培训型培训型替代供应专业供应专业供应专业供应专业供应专业供应专业供应专业供应专业供应专业供应专家P1-P3学生奥本大学临床卫生服务PGY-1,阿拉巴马州奥本,阿拉巴马州跨跨教育轮换2019年秋季至2019年东阿拉巴马州医学中心PGY-1,阿拉巴马州阿拉巴马州贝利卡,阿拉巴马州门诊护理轮换2018年秋季至密西西比大学药学院,杰克逊大学,杰克逊大学,密西西比州医疗保健I-IV:知识范围:Springer 2014: BCPS
董事会成员,其条款将于2024年12月31日到期,MANMIET AHUWALIA,迈阿密Noman Noman Ashraf,医学博士 *医学博士,好莱坞Mehdi Moezi,医学博士,弗莱明岛Zeina Nahleh,医学博士,FACP,FACP,Weston Sushma Nakka,MD,Lakeland *New Paresh Patel,MD,MD,Tallahassee Estelamari Estelamari Rodriguez,Md医学博士Sotomayor,坦帕·温斯顿·坦(Tampa Winston Tan),医学博士,杰克逊维尔董事会成员,其任期为2025年12月31日,锡金德·艾拉瓦迪(Sikander Ailawadhi)医学博士Beach Rogerio Lilenbaum,木星 *New Loretta Loftus,医学博士,坦帕Yan Makeyev,医学博士,橙色公园塞萨尔·佩雷斯,医学博士,迈阿密奥马尔·拉希德,马里兰州,英尺。劳德代尔·乔治·西蒙(Lauderdale George Simon)迈尔斯·乔纳森·扎格(Myers Jonathan Zager),医学博士,坦帕董事会成员,将于2026年12月31日到期,迈克·卡斯尼尔(Mike Cusnir),医学博士迈阿密迪纳·杜纳·杜米尔西·麦克林(M. Mahtani,Do,种植园Rami Manochakian,医学博士,杰克逊维尔·梅里·詹妮弗·马克汉姆(Jacksonville Merry Jennifer Markham) Jason Starr,Do,Gainesville
ACR:年度机密报告 ADB:亚洲开发银行 ADP:年度发展计划 AMC:替代医疗保健 ATMS:入学考试管理系统 BAMS:阿育吠陀医学和外科学士 BCPS:孟加拉国内科与外科医学院 BCS:孟加拉国公务员制度 (BCS) BDS:牙科外科学士 BHMS:顺势疗法医学和外科学士 BHPC:孟加拉国卫生专业委员会 BHFS:孟加拉国卫生设施调查 BHWS:孟加拉国卫生劳动力战略 BMA:孟加拉国医学协会 BMDC:孟加拉国医学和牙科委员会 BNMC:孟加拉国护理和助产委员会 BPCDOA:孟加拉国私人诊所和诊断所有者协会 BPMPA:孟加拉国私人执业医师协会 BSc。 :理学学士 BSc.N:护理学理学士 BSCO:孟加拉国职业标准分类 BSMMU:孟加拉国国父谢赫·穆吉布医科大学 BUMS:尤那尼医学和外科学士 CC:社区诊所 CHCP:社区医疗保健提供者 CILMS:中央库存与物流管理系统 CPD:持续专业发展 CSBA:社区熟练助产士 CSO:民间社会组织 DAMS:阿育吠陀医学和外科学文凭 DG:总干事 DGDA:药品管理局总局 DGFP:计划生育总局 DGHS:卫生服务总局 DGME:医学教育总局 DGNM:护理与助产总局 DH:地区医院 DHMS:顺势疗法医学和外科学文凭 DLKC:数字图书馆与知识中心 DM:助产学文凭DMF:医学院文凭 DMT:医疗技术文凭 DNSM:护理服务与助产文凭 DP:发展伙伴 DUMS:尤那尼医学与外科学文凭 ESP:基本服务包 FWV:家庭福利访问者 FWVTI:家庭福利访问者培训机构 GOB:孟加拉国政府 GP:全科医生 HED:卫生工程部 HEU:卫生经济学部 HLMA:卫生劳动力市场分析 HPN:卫生、人口与营养
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