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半导体洁净室技术
AMHS 是现代晶圆厂的重要组成部分。AMHS 有多种实施类型。这些实施可以包括以下一个或多个系统：自动导航车 (AGV)、轨道导航车 (RGV)、高架提升车 (OHV) 和高架运输 (OHT) 系统。AGV 和 RGV 系统在较旧的 200mm 晶圆厂中更常见，而 OHV 和 OHT 系统在 300mm 晶圆厂中更常见。在图 1 中，我们展示了一个包含 OHV 和 OHT 系统的 AMHS 示例。在 300mm 晶圆厂中，结合这些系统，晶圆在一个称为前开式统一吊舱 (FOUP) 的封闭容器中进行处理和运输（FOUP 将在本演示的后面部分详细介绍）。FOUP 使用高架提升转运车 (OHT) 系统从一个晶圆厂处理工具运输到另一个晶圆厂处理工具。 AMHS 的主要集成商 Daifuku 表示，在大型工厂中，OHT 行驶轨道可延伸至 10 公里，最多可容纳数百辆车。为了让一切协调一致，工厂使用各种组合
洁净室 HEPA 过滤器
Ahlstrom-Munksjö Glass 高效空气 Glass 高效空气产品涵盖了符合 EN1822 标准的从 E10 到 U17 的各种全机械效率介质，以及基于 MIL-STD-282 测试方法的美洲补充系列。产品组合的特点是低压降和高容尘量，以及卓越的介质均匀性，可确保在过滤器使用寿命期间获得最佳过滤性能。刚度和机械阻力经过优化，可在过滤器制造过程中提高生产率；是深褶和微褶应用的绝佳选择
洁净室擦拭器 - TechWipe
特性和优点 • 由 45% 聚酯/55% 纤维素无纺布制成，是一款耐用的擦拭布，非常适合溢出控制、清洁和溶液应用。 • 制造时颗粒和萃取物含量低，适合一般清洁和擦拭。 • 优异的耐化学性，可与多种溶液兼容。 • 高压灭菌器安全（仅限干式擦拭布）。 • 符合 USP <797> 和 USP <800> 擦拭布要求。 • 单独批号编码，便于跟踪和质量控制。
洁净室拖把 - TexWipe
Features & Benefits • Quick-change system allows the user to replace covers / pads frequently, adhering to strict cleaning protocols • The polyester pad assures the mop cover to conform to surfaces for consistent cleaning • Texwipe's 100% polyester covers provide the cleanest substrates available for cleaning walls, floors and ceilings • Low profile, swivel head with lightweight handles enables easier cleaning of floors, walls, ceilings and难以到达的区域
您的洁净室-CWS
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