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10A.5单向保险覆盖范围的蒸发升降机
关键字：通量角，蒸发，步骤覆盖，形成膜增长抽象典型蒸发过程始于10e-7 Torr范围。在这种高真空状态下，由于较长的平均自由路径，蒸发过程具有视线特征。设计用于升降机过程的蒸发器采用晶圆圆顶，其球形半径与源位置相匹配。与产生逆行角或底切轮廓的光刻过程相结合，该组合可以使清洁的金属升降机脱离。但是，相同的视线属性促进了金属提升的效果，从而导致了非保形步骤覆盖范围。使用常规的蒸发方法，共形步骤覆盖范围会导致升空难度。在这项工作中，我们将讨论雷神RFC最近开发的技术，该技术与标准升降机蒸发器相比提供了单向步骤覆盖优势。通过使用振荡晶圆运动，蒸发通量可以达到通常因膜增长而遮蔽的特征，从而改善台阶覆盖范围。此方法适用于希望在一个方向上的共形覆盖范围的应用。i ntrodruction金属化是通过大量蒸发的，然后是升降机以去除不需要的金属。电子束蒸发是一个简单有效的金属化过程。由于该过程通常在高真空下开始，因此涂层由于较长的平均自由路径而具有视线属性。不足的逆行角将在光震托上产生薄薄的金属层。产生逆行角度或产生垂直轮廓的双层过程的图像逆转照片过程将导致金属薄膜覆盖范围的不连续性，从而使清洁升降机可行。升空后，多余的金属将变成诸如纵梁，机翼或襟翼之类的缺陷。不幸的是，有益于提升过程的质量对于阶跃覆盖范围并不是最佳的。图1显示了一个金属层在另一个金属层上的阶梯覆盖的示例，该金属层由介电膜分开。
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航天飞机主发动机
太空运输系统 HAER No. TX-116 第 248 页 第三部分 航天飞机主发动机 简介 航天飞机主发动机 (SSME) 是世界上第一台也是唯一一台适用于载人航天的完全可重复使用、高性能液体火箭发动机。分级燃烧发动机燃烧 LO2 和 LH2 的混合物将航天器送入太空。ET 为三个 SSME 提供燃料和氧化剂，SSME 在动力飞行的前两分钟与双 SRB 协同工作。发动机从点火到 MECO 总共运行了大约八分半钟，燃烧了超过 160 万磅（约 528,000 加仑）的推进剂。SSME 为航天飞机提供了超过 120 万磅的推力。SSME 分级燃烧循环分两步燃烧燃料。首先，双预燃室燃烧涡轮泵中的大部分氢气和部分氧气，产生高压和有限温度下的富氢气体。热气流推动高压涡轮泵中的涡轮。涡轮废气流入主燃烧室，燃料在这里完全燃烧，产生高压高温的富氢气体。主燃烧室的废气通过喷嘴膨胀产生推力。在海平面，推进剂为每个发动机提供大约 380,000 磅的推力，额定功率水平 (RPL) 或 100% 推力；390,000 磅的标称功率水平 (NPL) 或 104.5% 的 RPL；420,000 磅的全功率水平 (FPL) 或 109% 的 RPL（或在真空中分别约为 470,000 磅、490,000 磅和 512,000 磅）。发动机可在 67% 至 109% RPL 的推力范围内以百分之一的增量进行节流。所有三个主发动机同时收到相同的节流命令。这在升空和初始上升期间提供了高推力水平，但允许在最后的上升阶段降低推力。发动机在上升过程中采用万向节来控制俯仰、偏航和滚转。SSME 的运行温度比当今常用的任何机械系统都要高。点火前，地球上第二冷的液体 LH2 的温度为零下 423 华氏度。点火后，燃烧室温度达到 6,000 华氏度，比铁的沸点还要高。为了满足严酷操作环境的要求，开发了特殊合金，例如 NARloy-Z（Rocketdyne）和 Inconel Alloy 718（Special Metals Corporation）。 1036 后者是一种镍基高温合金，用于大约 1,500 个发动机部件，按重量计算约占 SSME 的 51%。
超级摇滚井设计和构造
地热能（“我们脚下的热量”）长期以来一直被誉为几乎无法取之不尽的大量基本电源来源（Tester等，2007），但在全球能量组合中仍然是可再生能源的利基提供者。最近，地热能提取已成为具有巨大潜力的重要清洁能源。这在很大程度上是由于最近从热，干岩（HDR）提取地热的概念的爆炸驱动的，克服了对稀有和地理上稀疏的水热资源的需求，并为“任何地方的地热”创造了希望。已经提出了几种概念来提取HDR的能量。宽松地，这些概念属于“增强（或工程）地热系统”（例如）的权限，尽管某些文献将诸如闭环地热系统（Beckers等，2022）和连接的多边系统（Holmes等，2021）（创建“热交所”（Heateanger Asshep As Sparted Geother）（ag as and Geotherm）（Hymes et and System）（Holmes et al，2021）分类（Beckers等，2022）。在这种情况下，经典EG是指一个概念，其中两个（或更多）井是通过资源中的断裂网络连接的。连接裂缝网络是通过液压压裂和/或水力剪切（在资源中重新激活现有的天然断裂）创建的。在配对井之间创建了连接的断裂网络后，就可以通过喷油器孔注入工作流体。流体流过资源中的连接网络，提取热量，然后通过配对生产商产生。Fervo（Norbeck等，2023）和犹他州Forge（Allis and Moore，2019年）的最新成功使EGS更接近现实。语义，自1970年代开始在芬顿山（Fenton Hill）开始以来，经典的EGS方法历史上一直受到最大的关注和资金（Brown等，2012）。这两个示范项目均处于200°C左右的温度下。最近，对这些成功在Superhot Rock（SHR）中的成功兴趣，资源温度超过375°C，已经蒸蒸日上，这证明了美国能源部关于下一代地热的商业升降机报告的最新途径（2024）。同时，创新在AGS地区继续进行，Eavor（Holmes等，2021）和XG（Moncarz和Suryanarayana，2022年）取得了进展。Khodayar和Björnsson（2024）对已实施或正在开发的各种常规（水热）和非常规（例如，AGS，地热存储）系统提供了出色的评论。