ge是一种集团半导体,广泛用于基于SI的电子设备,因为独特的优势在于与标准互补金属氧化物半导体(CMOS)处理,出色的载体迁移率,相对丰度和低毒性[1]。最近,GE吸引了越来越多的研究兴趣,用于制造具有成本效益和有效的功能性电子光综合电路(EPICS)[1,2]。在室温下,GE的直接带隙为0.8 eV,对应于1,550 nm处的吸收边缘。1,300 nm和1,500 nm之间的强光吸收使GE成为光纤电信设备的理想光电探测器(PD)材料[3]。但是,由于SI和GE之间的4.2%晶格不匹配,将GE直接集成在SI底物上是一项挑战。已经采取了强烈的努力,使用不同的方法(包括两步生长[4,5]和分级的SIGE缓冲液[6],为了制造高性能GE正常生命值PDS [3,7]和波导(WG)PDS(WGPDS)PDS(WGPDS)[8,9] [8,9]。但是,GE活动层和GE/SI接口相对有缺陷,从而降低了设备性能。此外,
研究了采用金属有机化学气相沉积法制备的波长为 m 的 InGaAs 波导光电二极管 (WGPD) 在 40-Gb/s 光接收器中的应用。通过监测暗电流和击穿电压,检查了高温存储和加速寿命测试的可靠性。提取了 WGPD 测试结构的中位器件寿命和退化机制的活化能。通过统计分析检查器件寿命,该分析在预测实际条件下的器件寿命方面非常可靠。WGPD 测试结构的退化机制可以通过暴露的 p-n 结上的钝化层中的离子杂质形成漏电流路径来解释。尽管如此,可以得出结论,WGPD 测试结构对于实际的 40-Gb/s 光接收器应用表现出足够的可靠性。
研究了采用金属有机化学气相沉积法制备的波长为 m 的 InGaAs 波导光电二极管 (WGPD) 在 40-Gb/s 光接收器中的应用。通过监测暗电流和击穿电压,检查了高温存储和加速寿命测试的可靠性。提取了 WGPD 测试结构的中位器件寿命和退化机制的活化能。通过统计分析检查器件寿命,该分析在预测实际条件下的器件寿命方面非常可靠。WGPD 测试结构的退化机制可以通过暴露的 p-n 结上的钝化层中的离子杂质形成漏电流路径来解释。尽管如此,可以得出结论,WGPD 测试结构对于实际的 40-Gb/s 光接收器应用表现出足够的可靠性。