Loading...
机构名称:
¥ 1.0

ge是一种集团半导体,广泛用于基于SI的电子设备,因为独特的优势在于与标准互补金属氧化物半导体(CMOS)处理,出色的载体迁移率,相对丰度和低毒性[1]。最近,GE吸引了越来越多的研究兴趣,用于制造具有成本效益和有效的功能性电子光综合电路(EPICS)[1,2]。在室温下,GE的直接带隙为0.8 eV,对应于1,550 nm处的吸收边缘。1,300 nm和1,500 nm之间的强光吸收使GE成为光纤电信设备的理想光电探测器(PD)材料[3]。但是,由于SI和GE之间的4.2%晶格不匹配,将GE直接集成在SI底物上是一项挑战。已经采取了强烈的努力,使用不同的方法(包括两步生长[4,5]和分级的SIGE缓冲液[6],为了制造高性能GE正常生命值PDS [3,7]和波导(WG)PDS(WGPDS)PDS(WGPDS)[8,9] [8,9]。但是,GE活动层和GE/SI接口相对有缺陷,从而降低了设备性能。此外,

ge -on -pe -un -unsulator横向p − i − n波导光电探测器...

ge -on -pe -un -unsulator横向p − i − n波导光电探测器...PDF文件第1页

ge -on -pe -un -unsulator横向p − i − n波导光电探测器...PDF文件第2页

ge -on -pe -un -unsulator横向p − i − n波导光电探测器...PDF文件第3页

ge -on -pe -un -unsulator横向p − i − n波导光电探测器...PDF文件第4页

ge -on -pe -un -unsulator横向p − i − n波导光电探测器...PDF文件第5页

相关文件推荐

2023 年
¥1.0