近红外(NIR)光检测是对应用程序,例如监视系统,面部识别,工业排序和检查,脉搏氧化,光学相干性层析成像和成像等应用中对技术解决方案不断增长的需求的关键。[1-10]无机半导体(例如GE,INGAAS,PBS和HGCDTE)允许宽带光检测从0.8至10 µm,在10 10 Jones附近或更高范围内具有特定的检测(D *)。[11]同时,其中一些传统材料含有有毒的重金属,总体生产成本相当高。此外,商业NIR成像传感器的分辨率有限,这与光活性层通过电线键入电气连接安装到硅读出的集成电路(ROIC)的事实有关。[12]这将最小的像素螺距限制在大约10 µm上,因为需要ROIC和活动层之间非常精确的对齐。为了允许像素大小的缩放,一项持续的努力集中在ROIC上直接生长光活性层。然而,由于活性层与ROIC或电气互连之间的热膨胀系数的差异,经常观察到温度波动时的设备分解。[13]调用半导体的另一个限制是它们的宽带吸收。这只能通过增加设备复合度来实现波长的选择性,例如通过其他光学滤镜和二分色棱镜,并对空间分辨率提出了额外的限制。[14]
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