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1 CAS关键实验室，中国科学技术大学，中国Hefei 230026； zhaoxuewei@ime.ac.cn（X.Z. ）; haiouli@ustc.edu.cn（H.L. ）; gpguo@ustc.edu.cn（G.G.） 2微电子设备和综合技术的主要实验室，中国科学院微电子学院，中国北京100029； linhongxiao@ime.ac.cn（H.L. ）; duyong@ime.ac.cn（Y.D. ）; kongzhenzhen@ime.ac.cn（Z.K. ）; sujiale@ime.ac.cn（J.S. ）; lijunjie@ime.ac.cn（J.L。）; xiongwenjuan@ime.ac.cn（W.X。） 3中国科学院微电子学院，中国北京100049，4北方大湾地区综合巡回赛和系统研究与发展中心，中国综合巡回赛和系统研究所，中国510535，中国。 luoxue@giics.com.cn 5电子设计系，瑞典中部，霍尔姆加坦10，85170 Sundsvall，瑞典 *通信：wangguilei@ime.ac.ac.cn（G.W. ）; miaoyuanhao@ime.ac.cn（Y.M. ）; rad@ime.ac.cn（H.H.R.）1 CAS关键实验室，中国科学技术大学，中国Hefei 230026； zhaoxuewei@ime.ac.cn（X.Z.）; haiouli@ustc.edu.cn（H.L.）; gpguo@ustc.edu.cn（G.G.）2微电子设备和综合技术的主要实验室，中国科学院微电子学院，中国北京100029； linhongxiao@ime.ac.cn（H.L.）; duyong@ime.ac.cn（Y.D.）; kongzhenzhen@ime.ac.cn（Z.K.）; sujiale@ime.ac.cn（J.S.）; lijunjie@ime.ac.cn（J.L。）; xiongwenjuan@ime.ac.cn（W.X。）3中国科学院微电子学院，中国北京100049，4北方大湾地区综合巡回赛和系统研究与发展中心，中国综合巡回赛和系统研究所，中国510535，中国。 luoxue@giics.com.cn 5电子设计系，瑞典中部，霍尔姆加坦10，85170 Sundsvall，瑞典 *通信：wangguilei@ime.ac.ac.cn（G.W. ）; miaoyuanhao@ime.ac.cn（Y.M. ）; rad@ime.ac.cn（H.H.R.）3中国科学院微电子学院，中国北京100049，4北方大湾地区综合巡回赛和系统研究与发展中心，中国综合巡回赛和系统研究所，中国510535，中国。 luoxue@giics.com.cn 5电子设计系，瑞典中部，霍尔姆加坦10，85170 Sundsvall，瑞典 *通信：wangguilei@ime.ac.ac.cn（G.W.）; miaoyuanhao@ime.ac.cn（Y.M.）; rad@ime.ac.cn（H.H.R.）

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