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使用高能 X 射线发生器对电子设备进行 TID 测试
便于 TID 测试。主要优点是，与放射源（无需担心处理放射性物质）或粒子束（通常是重型装置，维护要求高）相比，使用 X 射线发生器更容易管理辐射安全问题。这是因为光子的能量相对较低，可以通过防护罩轻松阻止，而且 X 射线发生器可以轻松关闭。X 射线发生器的另一个优点是光子能量足够低，可以轻松准直。因此，可以使用 ARACOR 之类的 10 keV 发生器照射晶圆上的单个设备。与 60-Co 或铯 137 源相比，X 射线发生器还提供相对较高的剂量率，从而缩短了测试时间。在系统设计期间，这允许快速（一天内）对同一类型的多个组件进行 TID 灵敏度表征（筛选），以便获得 TID 硬度的初步估计值。最后，与放射源或粒子束相比，X 射线发生器的购买和维护成本更低。低能 X 射线发生器的主要缺点是光子穿透深度低，必须在晶圆级或无盖器件上进行辐射，而更高能量的辐射源对于封装器件或系统级（电子板）的辐射测试仍然是强制性的。其他缺点
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