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开发等离子蚀刻过程到模式子...
将基于多甲基丙烯酸酯/多甲基丙烯酸酯（PS/ PMMA）块共聚物组成的自组装形成的纳米骨的最佳策略投资到硅底物中。作者表明，特定问题与通过自组装获得的PS面膜的等离子体蚀刻有关。的确，由于亚15 nm接触孔的纳米尺寸及其固有的高纵横比（> 5），因此必须重新审视微电子工业中通常用于蚀刻SIO 2和硅的等离子体蚀刻过程。特别是，蚀刻各向异性依赖于特征侧壁上钝化层的形成的过程不适合纳米尺寸，因为这些层倾向于填充导致蚀刻停止问题的孔。同时，与在高方面比率纳米骨中克服差分充电效应的典型过程相比，必须增加离子轰击能。然而，通过将适当的过程（例如同步的脉冲等离子体）进行开发，作者表明，通过使用块共聚物和硬面膜策略，可以将70nm深的孔深孔进入硅。这些实验产生的另一个有趣的观察结果是，对于亚15 nm孔，几个nm的临界维度（CD）缩合会导致强大比率依赖性蚀刻速率。此外，在每个等离子体步骤之后，对孔的CD的分散体进行了仔细的分析表明，CD控制远非令人满意的高级CMOS技术要求。v C 2014美国真空学会。[http://dx.doi.org/10.1116/1.4895334]关键问题来自从PS/PMMA矩阵中的未完成的PMMA在我们的自组装过程中的去除：可变量的PMMA保留在PS孔中，从而导致蚀刻步骤中的微功能效应，从而产生CD控制损失。也许可以通过将紫外线释放酸处理与乙酸处理相结合，以在等离子体蚀刻之前提供不含PMMA残基的PS膜，以解决此问题。
脉冲 HBr/O–2 等离子体中的硅蚀刻。II. 图案转移
由 HBr/O 2 组成的等离子体通常用于硅蚀刻工艺，如栅极蚀刻工艺或浅沟槽隔离蚀刻，由于人们对此类化学反应中的硅蚀刻相当了解，因此它成为研究等离子体脉冲对气相和等离子体-表面相互作用的影响的最佳选择。目标是了解连续等离子体和脉冲等离子体之间的根本区别，以及等离子体产生的变化如何影响最终的图案转移。在论文 I 中，我们展示了等离子体脉冲对离子通量和离子能量的强大影响。1 结果显示，占空比 (dc) 而不是脉冲频率对这些参数有显著影响。在本文中，我们重点研究等离子体脉冲对 HBr/O 2 等离子体中的蚀刻机制和图案转移的影响。先前的实验已经证明脉冲等离子体中等离子体引起的损伤有所减少，2 – 4 通常通过使用扫描电子显微镜 (SEM) 成像、椭圆偏振测量和 X 射线光电子能谱 (XPS) 对侧壁钝化层 (SPL) 进行形貌分析。许多作者已经研究了 HBr/O 2 等离子体对硅和 SiO 2 的蚀刻机理。5 – 13 下面总结了 Si 和 SiO 2 蚀刻的基本机理，其中考虑了原料气中极小比例的氧气。含溴、氢和（较少量）氧的离子撞击硅表面、分解、破坏键并形成富含卤素的非晶层，也称为反应蚀刻层 (REL)，其中含有 H、Br 和一些 O 原子。非晶层的厚度和成分会根据离子能量、压力和原料气流量而变化。由于氢原子比其他粒子小得多，它们可以更深地渗透到硅层中，然后硅原子可以因碰撞而解吸，或可以融入挥发性物质，如 SiBr 4。含氢分子如 SiH 2 Br 2 的挥发性更强，13 但硅蚀刻并不
通过计数米草图检测微构造攻击
摘要 - 对性能的持续追求推动了专业人员，以结合多个内核，缓存，加速单元或投机执行，使系统变得非常复杂。另一方面，这些功能通常会暴露出构成新挑战的意外漏洞。为了进行检查，可以利用缓存或投机执行引入的定时差异以泄漏信息或检测活动模式。保护嵌入式系统免受现有攻击是极具挑战性的，而且由于新的微体系攻击的持续崛起（例如，幽灵和编排攻击），这使它变得更加困难。在本文中，我们提出了一种新方法，该方法基于计数示意图，用于检测嵌入式系统介绍的微处理器中的微体系攻击。这个想法是将安全检查模块添加到系统中（无需修改保护器，而不是在保护下），负责观察被提取的说明，并识别和发出信号可能的可疑活动，而无需干扰系统的标称活动。可以在设计时（在部署后重新编程）对所提出的方法进行编程，以便始终更新Checker能够识别的攻击列表。我们将所提出的方法集成到了大型RISC-V核心中，我们证明了它在检测几种版本的幽灵，编排，Rowhammer和Flush+重新加载攻击方面的有效性。在最佳配置中，提出的方法能够检测到100％的攻击，没有错误的警报，并引入了大约10％的面积开销，大约增加了4％的功率，并且没有降低工作频率。
表征和优化高密度等离子体蚀刻过程的高级记忆应用程序
许多人以不同的方式为我作为博士学位的经验做出了贡献。首先，我要感谢CMP的所有人。首先，非常感谢我的论文导演AgnèsRoussy多年来。感谢您不断的支持，尤其是在困难时期。，也感谢您每天都在您的办公室里支持我...幸福！我还要感谢当时CMP主任StéphaneDauzère-Pérès，因为我有机会在他的实验室中进行论文。我要特别感谢Jakey的所有帮助以及我一直学到很多东西的所有有趣的讨论（即使我们不一定人同意！）。和种族，感谢所有的SFL人！…为了休息，为了进行研讨会，分享美妙的食堂……与您和属于这个小组的博士学位真是太好了！
改进o 2等离子体蚀刻钻石功率MOSFET制造
为了最大程度地减少或消除沟槽，最好有利于蚀刻过程的化学成分。因此，我们决定继续使用ICP-RIE进行O 2等离子体蚀刻，这是因为在表面形态和各向异性蚀刻方面具有令人鼓舞的结果，因此我们已经研究了血浆参数的影响ICP和偏置功率，尤其是使用两种类型的口罩：铝和硅二氧化物（Sio-dioxide）（Sio 2）。3- O 2在Sentech Si500-Drie设备上进行了用铝面膜钻石蚀刻的等离子体蚀刻。测试样品是（100）方向的单晶CVD钻石底物和元素六的3 x 3 mm 2尺寸。第一步涉及溶剂和酸的化学清洁，以去除可能影响蚀刻和产生粗糙度的污染物。然后将钻石底物涂在光线器上，并用激光光刻降低，以定义掩模图案。然后通过热蒸发沉积700 nm厚的铝面膜。金属薄膜，例如铝，由于其在钻石上的良好粘附性[24]及其良好的蚀刻选择性[25]，因此将其用作单晶钻石蚀刻的硬面膜材料。此外，由于血浆中的寿命不足，尤其是在氧气中，因此与光致剂相比，金属面膜仍然是更好的选择。3.1 o 2等离子蚀刻的p icp = 500W和p偏见= 5W我们研究的第一个蚀刻条件是：p icp = 500 w，p sial = 5 w，压力= 5吨，气体流量= 25 sccm，温度= 18°C。每个蚀刻步骤都限制为30
低温蚀刻的低温极限：准原位XPS研究
hal是一个多学科的开放访问档案，用于存款和传播科学研究文件，无论它们是否已发表。这些文件可能来自法国或国外的教学和研究机构，也可能来自公共或私人研究中心。
Kathryn Ann Moler（KAM）
A.个人陈述在我的本科和研究生研究期间，我对理解癌症，糖尿病和心脏肥大等分子机制产生了深厚的兴趣。我的科学旅程始于微生物学的本科，这使我攻读病毒学硕士学位。在浦那大学的硕士学位期间，我纯化并描述了基孔肯雅病毒的解旋酶活性。i有机会在国家免疫学研究所在树突状细胞开发中发挥干扰素调节因素的作用，并使用使用维生素D进行临床试验，以增加印度转化健康科学和技术研究所的免疫反应。在这个形成期间，我学到了几种为我的博士学位做好准备的方法，并且对进行研究的重要性产生了深刻而持久的印象，该研究的重要性转化为患者的治疗方法。在我寻找一个学习蛋白质生物化学和疾病的细胞信号传导的环境时，我在西班牙CNIC的一个实验室进行了心肌炎，然后加入了Suny Poly博士的实验室，从而在心脏疾病和癌症中从事氧化还原信号的新兴领域的工作。我在Boivin博士实验室的研究生研究重点是了解蛋白酪氨酸磷酸酶（PTP）如何在细胞中氧化，以及我们是否可以找到重新激活PTP的方法，这些PTP高度氧化并在疾病中被灭活。Boivin博士是一位出色的蛋白质生物化学家，它已经开发出已将氧化还原领域向前发展的技术，我从他的科学见解和技术专长中学到了很多东西。B.一起，我们在测试是否可以在细胞中重新激活PTP的方法提出了各种假设。这些研究使我们能够识别14-3-3是PTP1B的新型相互作用伙伴，并证明这种新型相互作用对于稳定PTP1B的“ OFF”形式至关重要。我们最近发表了自然化学生物学的工作。我还与Boivin博士一起编写了两次后续手稿，并从事最终的后续研究项目，我们在其中确定了PTP上酶促氧化转移的机制。该项目将涉及大量的RNA工作，因为我们将研究NRF2下游的mRNA转录本，NRF2是K-RAS G12D和B-RAF V619E驱动的癌症的抗氧化剂的主要调节剂。获得RNA奖学金将是一个学习最先进的RNA技术和知识的绝佳机会，这将直接受益于我的博士学位。在进行科学独立之旅中计划并支持我。职位和荣誉
M. Garín、R. Khoury、I. Martín、Erik Johnson。通过纳米颗粒定向毛细管凝聚进行纳米级直接蚀刻。纳米尺度，2020 年，
* 通讯作者：moises.garin@uvic.cat 我们报告了一种通过在纳米颗粒/基底界面的弯月面中毛细管冷凝在纳米尺度上局部输送气相化学蚀刻剂的方法。该过程简单、可扩展且不需要对纳米颗粒进行功能化。此外，它不依赖于材料的任何特定化学性质，除了溶液是水性的和所涉及表面的润湿性之外，这应该使其能够应用于其他材料和化学品组合。具体而言，在这项工作中，我们通过使用暴露于 HF 蒸汽的自组装单层聚苯乙烯颗粒定期对 SiO 2 层进行图案化来演示所提出的工艺。然后使用图案化的 SiO 2 层作为掩模来蚀刻 Si 中的倒置纳米金字塔图案。已经证明了硅纳米图案化适用于从 800 nm 到 100 nm 的颗粒尺寸，对于 100 nm 纳米颗粒，实现了尺寸小至 50 nm 的金字塔。
使用 Cl2/Ar/N2 电感耦合等离子体对 SiO2 纳米沟槽上的 TiN 纳米结构进行选择性干法蚀刻
介绍了一种用于在纳米表面结构上制造 TiN 纳米结构的电感耦合等离子蚀刻工艺。使用 Cl 2 /Ar/N 2 等离子体，在 SiO 2 上可实现 50 的选择性。研究了 N 2 流速对蚀刻速率和 TiN 侧壁上非挥发性残留物的影响。当 N 2 流速增加到 50 sccm 时，观察到 TiN 侧壁上非挥发性残留物的沉积发生变化。介绍了用 TiN 纳米结构侧壁制造的 TiN 器件的电流密度-电压特性。分别用低和高 N 2 流速蚀刻的两个不同样品的测量电流密度表明，仅在低 N 2 流速下，清洁后才会在侧壁上沉积一层绝缘层。VC 2015 美国真空学会。 [http://dx.doi.org/10.1116/1.4936885]
使用PEDOT：PSS离子液体复合
摘要：电色素的低功耗使其广泛用于主动阴影窗户和镜子，而柔性版本可用于可穿戴设备。最初的可拉伸电致元元素的初始演示有望与复杂表面的良好相符。在这里，完全集成的本质上可拉伸的电致色素设备被证明为单个元素和3×3显示器。导电和电离离子液含量的聚（3,4-乙二醇二苯乙烯）聚苯乙烯磺酸盐磺酸盐与聚（乙烯基醇）的电解质结合在一起，形成完整的细胞。显示出15％的传输变化，而不透明的反射设备的反射率变化为25％，即使在30％的应变下，转换时间也<7 s。在电化学和机械应变循环下均具有稳定性。一个被动矩阵显示器在应变下表现出可寻址性和低串扰。可比的光学性能与柔性电色素和更高的可变形性提供了可穿戴，生物识别监测和机器人皮肤设备的有吸引力的品质。关键字：电致色素，可拉伸，PEDOT，显示，导电聚合物，离子皮肤，电子皮肤