便携式、经济高效的气体传感器在众多环境、生物医学和工业应用中越来越受欢迎,但目前的设备仅限于专门的实验室,无法扩展到一般用途。在这里,我们展示了一种光子芯片上灵敏度为十亿分之一的折射率气体传感器,该光子芯片基于用中孔二氧化硅顶包层功能化的氮化硅波导。通过监测集成不平衡马赫-曾德尔干涉仪的输出光谱模式来检测低浓度化学蒸气,该干涉仪的一个涂层臂暴露在气体蒸气中。我们分别对丙酮、异丙醇和乙醇获得了 65 ppb、247 ppb 和 1.6 ppb 的检测限。据我们所知,我们的片上折射率传感器基于光子集成电路提供了前所未有的低气体浓度检测限。因此,我们的研究结果预示着用于现场实时环境监测和医疗诊断的紧凑、便携和廉价设备的实现。
本作品受版权保护。所有权利均由出版商独家独家授权,无论涉及全部或部分材料,具体而言,包括翻译、重印、重复使用插图、朗诵、广播、以缩微胶片或任何其他物理方式复制、传输或信息存储和检索、电子改编、计算机软件或通过现在已知或今后开发的类似或不同的方法。本出版物中使用的一般描述性名称、注册名称、商标、服务标记等并不意味着,即使没有具体声明,这些名称也不受相关保护法律和法规的约束,因此可以免费用于一般用途。出版商、作者和编辑可以放心地认为,本书中的建议和信息在出版之日是真实准确的。出版商、作者或编辑均不对本文所含材料或可能出现的任何错误或遗漏提供明示或暗示的保证。出版商对于已出版地图的管辖权主张和机构隶属关系保持中立。
© 美国政府(美国境外)2018 本作品受版权保护。出版商保留所有权利,无论涉及全部或部分材料,特别是翻译、重印、重新使用插图、朗诵、广播、在微缩胶片或任何其他物理方式上复制、传输或信息存储和检索、电子改编、计算机软件或通过现在已知或今后开发的类似或不同的方法。本出版物中使用的一般描述性名称、注册名称、商标、服务标记等并不意味着(即使没有具体声明)此类名称不受相关保护法律和法规的约束,因此可以免费用于一般用途。出版商、作者和编辑可以安全地假定本书中的建议和信息在出版之日是真实准确的。出版商、作者或编辑均不对本文所含材料或可能出现的任何错误或遗漏提供明示或暗示的保证。出版商对已出版地图中的司法管辖权主张和机构隶属关系保持中立。
© Springer Nature Switzerland AG 2019 本作品受版权保护。所有权利均由出版商保留,无论涉及全部或部分材料,特别是翻译、重印、重新使用插图、朗诵、广播、在微缩胶片或任何其他物理方式上复制、传输或信息存储和检索、电子改编、计算机软件或通过现在已知或今后开发的类似或不同的方法。本出版物中使用的一般描述性名称、注册名称、商标、服务标记等并不意味着(即使没有具体声明)这些名称不受相关保护法律和法规的约束,因此可以免费用于一般用途。出版商、作者和编辑可以安全地假定本书中的建议和信息在出版之日被认为是真实和准确的。出版商、作者或编辑均不对本文所含材料或可能出现的任何错误或遗漏提供明示或暗示的保证。出版商对已出版地图中的司法管辖权主张和机构隶属关系保持中立。
© Springer Nature Switzerland AG 2020 本作品受版权保护。所有权利均由出版商保留,无论涉及全部或部分材料,特别是翻译、重印、重新使用插图、朗诵、广播、在微缩胶片或任何其他物理方式上复制、传输或信息存储和检索、电子改编、计算机软件或通过现在已知或今后开发的类似或不同的方法。本出版物中使用的一般描述性名称、注册名称、商标、服务标记等并不意味着(即使没有具体声明)这些名称不受相关保护法律和法规的约束,因此可以免费用于一般用途。出版商、作者和编辑可以安全地假设本书中的建议和信息在出版之日被认为是真实和准确的。出版商、作者或编辑均不对本文所含材料或可能出现的任何错误或遗漏提供明示或暗示的保证。出版商对已出版地图中的司法管辖权主张和机构隶属关系保持中立。
© Springer Nature Switzerland AG 2020 本作品受版权保护。所有权利均由出版商保留,无论涉及全部或部分材料,特别是翻译、重印、重复使用插图、朗诵、广播、在微缩胶片或任何其他物理方式上复制、传输或信息存储和检索、电子改编、计算机软件或通过现在已知或今后开发的类似或不同的方法。本出版物中使用的一般描述性名称、注册名称、商标、服务标记等并不意味着(即使没有具体声明)这些名称不受相关保护法律和法规的约束,因此可以免费用于一般用途。出版商、作者和编辑可以安全地假设本书中的建议和信息在出版之日是真实和准确的。出版商、作者或编辑均不对本文所含材料或可能出现的任何错误或遗漏提供明示或暗示的保证。出版商对已出版地图中的司法管辖权主张和机构隶属关系保持中立。
本作品受版权保护。所有权利均由出版商独家独家授权,无论涉及全部或部分材料,具体而言,包括翻译、重印、重复使用插图、朗诵、广播、以缩微胶片或任何其他物理方式复制、传输或信息存储和检索、电子改编、计算机软件或通过现在已知或今后开发的类似或不同的方法。本出版物中使用的一般描述性名称、注册名称、商标、服务标记等并不意味着,即使没有具体声明,这些名称也不受相关保护法律和法规的约束,因此可以免费用于一般用途。出版商、作者和编辑可以放心地认为,本书中的建议和信息在出版之日是真实准确的。出版商、作者或编辑均不对本文所含材料或可能出现的任何错误或遗漏提供明示或暗示的保证。出版商对于已出版地图的管辖权主张和机构隶属关系保持中立。
本作品受版权保护。出版商保留所有权利,无论涉及全部或部分材料,特别是翻译、重印、重复使用插图、朗诵、广播、在缩微胶片或任何其他物理方式上复制、传输或信息存储和检索、电子改编、计算机软件或通过现在已知或今后开发的类似或不同的方法的权利。使用一般描述性名称、注册名称、商标、服务标记等。本出版物中的这些名称,即使没有具体声明,也并不意味着这些名称不受相关保护法律和法规的保护,因此可以免费用于一般用途。出版商、作者和编辑可以放心地假设本书中的建议和信息在出版之日是真实准确的。无论是出版商、作者还是编辑,均不对此处包含的材料或可能出现的任何错误或遗漏提供明示或暗示的保证。出版商对于已出版地图和机构隶属关系中的司法权主张保持中立。
© 编辑(如适用)和作者,经 Springer Nature Switzerland AG 独家许可 2022 本作品受版权保护。出版商保留所有权利,无论涉及全部或部分材料,特别是翻译、重印、重复使用插图、朗诵、广播、在微缩胶片或任何其他物理方式上复制、传输或信息存储和检索、电子改编、计算机软件或现在已知或今后开发的类似或不同的方法的权利。本出版物中使用的一般描述性名称、注册名称、商标、服务标记等并不意味着,即使没有具体声明,这些名称也不受相关保护法律和法规的约束,因此可以免费用于一般用途。出版商、作者和编辑可以放心地假设本书中的建议和信息在出版之日被认为是真实和准确的。出版商、作者或编辑均不对本文所含材料或可能出现的任何错误或遗漏提供明示或暗示的保证。出版商对于已出版地图中的司法管辖权主张和机构隶属关系保持中立。
© 编辑(如适用)和作者,经 Springer Nature Switzerland AG 2021 独家许可本作品受版权保护。所有权利均由出版商保留,无论涉及全部或部分材料,特别是翻译、重印、重复使用插图、朗诵、广播、在缩微胶片或任何其他物理方式上复制、传输或信息存储和检索、电子改编、计算机软件或通过现在已知或今后开发的类似或不同的方法。本出版物中使用的一般描述性名称、注册名称、商标、服务标记等并不意味着(即使没有具体声明)此类名称不受相关保护法律和法规的约束,因此可以免费用于一般用途。出版商、作者和编辑可以安全地假设本书中的建议和信息在出版之日被认为是真实和准确的。出版商、作者或编辑均不对本文所含材料或任何可能出现的错误或遗漏提供明示或暗示的保证。出版商对已出版地图中的司法管辖权主张和机构隶属关系保持中立。