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灰尘对 GEC 参比室射频放电中氩等离子体的影响
摘要 — 等离子体中的尘埃粒子由于不断吸收周围环境中的自由电子和离子而获得电荷。根据尘埃的大小和数量密度，这会显著改变局部等离子体以及全局放电特性。本文介绍了当尘埃以不同的数量密度和大小被引入等离子体时，源自氩等离子体的光发射变化以及放电电特性变化的测量结果。测量放电的电子信号（包括电极电位、电流和导数信号）可以确定复阻抗，从而确定放电等效电路的变化。将实验结果与二维尘埃等离子体流体模型的数值结果进行了比较。