结构(参见图 2 (1)-(9)),尽管很快意识到可以轻松进行进一步简化,以减少这些结构所需的处理步骤数。例如,SiO 2 层中的最终台阶高度可以完全用烘烤的光聚合物代替,从而减少一轮(光刻 + SiO 2 蚀刻)。虽然
掺杂剂诱导溶解度控制 (DISC) 聚合物半导体图案化技术的最新进展已使聚-3-己基噻吩 (P3HT) 的直接写入光学图案化成为可能,且分辨率达到衍射极限。在这里,我们将光学 DISC 图案化技术应用于最简单的电路元件——导线。我们展示了 P3HT 和掺杂有分子掺杂剂 2,3,5,6-四氟-7,7,8,8-四氰基醌二甲烷 (F4TCNQ) 导线的 P3HT 的光学图案化,尺寸为厚度 20-70 nm、宽度 200-900 nm 和长度 40 µ m。此外,我们还展示了“L”形弯曲和“T”形结等导线图案的光学图案化,而无需改变结处导线的直径或厚度。经过连续掺杂后,导线本身的电导率高达 0.034 S/cm。我们还证明了 P3HT 纳米线可以在溶液中掺杂、去掺杂和再掺杂,而不会改变导线的尺寸。光学图案化和可逆掺杂聚合物半导体的综合能力代表了一套完整的图案化步骤,相当于无机半导体的光刻技术。
随着极紫外 (EUV) 光刻技术进入大批量生产,半导体行业已将光刻波长匹配的光化图案化掩模检测 (APMI) 工具视为 EUV 掩模基础设施的主要空白。现在,已经开发出一种光化图案化掩模检测系统来填补这一空白。结合开发和商业化 13.5nm 波长光化空白检测 (ABI) 系统的经验以及数十年的深紫外 (DUV) 图案化掩模缺陷检测系统制造经验,我们推出了世界上第一个高灵敏度光化图案化掩模检测和审查系统 ACTIS A150(ACTinic 检测系统)。生产此 APMI 系统需要开发和实施新技术,包括高强度 EUV 源和高数值孔径 EUV 光学器件。APMI 系统具有高分辨率、低噪声成像,对缺陷具有极高的灵敏度。它已证明能够检测出印刷晶圆上估计光刻影响为 10% CD 偏差的掩模缺陷。
固定图案噪声(FPN)是由于成像传感器的反应中的不均匀性而在视频上存在的时间相干噪声。对于红外视频来说,这是一个常见的问题,它降低了观察者的质量并阻碍了随后的应用程序。在这项工作中,我们引入了FPN删除问题的概括,其中输入数据由具有相同FPN的几个不同序列组成。这是由红外摄像机通过镜子或相机本身(例如用于监视的镜子本身)捕获多个传感器的红外摄像机的动机。与从单个视图中的标准FPN删除问题相比,该多视图设置为FPN进行了更准确的估计。我们提出了一种新型的能量最小化,以进行多视图FPN去除,并提出了可以以离线和线路方式应用的两种优化算法。此外,我们还表明,提出的能量可以适应从单个视图中删除FPN的问题,并具有滚动窗口的方法,从而对最终的状态进行了显着改进。我们通过合成数据和来自监视红外摄像机的真实数据证明了所提出的方法的性能。
在当前基于光的图案化技术中,图像被投射到感光材料上以在光聚焦的区域中生成图案。因此,图案的大小、形状和周期性由光掩模或投影图像上的特征决定,材料本身通常不会在改变特征方面发挥积极作用。相比之下,偶氮苯聚合物提供了一种独特的光图案化平台,其中偶氮苯基团的光异构化可以在分子、微观和宏观尺度上引起大量的材料运动。通过暴露于干涉光束可以产生稳定的表面浮雕图案。因此,可以以非常简单的方式在大面积上制造具有二维和三维空间控制的周期性纳米和微观结构。偏振光可用于通过不寻常的固体到液体的转变引导固体偶氮苯聚合物沿光偏振方向流动,从而允许使用光制造复杂结构。本综述总结了使用偶氮苯聚合物进行先进制造的最新进展。包括简要介绍偶氮苯聚合物的有趣的光学行为,然后讨论偶氮苯聚合物的最新发展和成功应用,特别是在微纳米制造领域。
尽管有机阴极材料场迅速扩张,但仍然缺乏通过易于合成的材料,具有稳定的循环和高能量密度。在此,我们报告了可以用作阴极材料的市售前体中的小有机分子的两步合成。氧化的四喹氧化物毒素(OTQC)是通过将附加的奎诺酮氧化氧化氧化氧化氧化氧化氧化氢活性中心引入结构中的四喹啉氧化菌(TQC)衍生而来的。修饰增加了材料的电压和容量。OTQC的高特异性容量为327 MAHG -1,平均电压为2.63 V,而Li -Ion电池中的Li/Li +。对应于材料水平上860 WHKG -1的能量密度。此外,该材料表现出极好的循环稳定性,在400个循环后的容量保持量为82%。同样,使用水解物中的TQC与TQC相比,OTQC表现出增加的平均电压和特异性能力,达到326 MAHG -1的特异性容量,平均电压为0.86 V,Vs. Zn/Zn 2+。除了良好的电化学性能外,这项工作还对与容量衰减有关的氧化还原机制和降解机制提供了额外的深入分析。
心脏起搏器细胞(CPC)启动了驱动心脏节奏跳动的电脉冲。cpcs居住在一种良好的,富含ECM的微环境中,称为Sinoatrial节点(SAN)。令人惊讶的是,关于SAN的生物化学组成或机械性能以及心脏影响CPC功能中的独特结构特征如何保持鲜为人知。在这里,我们已经确定了SAN的开发涉及构建“软”大分子ECM,该ECM专门封装了CPC。此外,我们证明,对胚胎CPC的底物刚度高于体内测量的质子刚度会导致CPC自动性所需的HCN4和NCX1离子通道的相干电振荡和失调。共同表明,局部力学在维持胚胎CPC函数方面起着关键作用,同时定义了对于胚胎CPC成熟最佳的材料属性范围。
多维工程葡萄干剂玻璃被广泛探索以构建各种红外光子设备,其表面是波前控制的关键维度。在这里,我们演示了在葡萄干剂玻璃表面上直接构图高光谱raTio mi-crostructures,这提供了一种有效且坚固的方法来操纵长波辐射。使用优化的深层蚀刻过程,我们成功地以8μm的高度构建了高镜的小圆柱,但我们成功地制造了高态度的微柱,我们证明了2毫米直径的全chalcogenide金属元素,具有0.45的数字光圈,在1.5mmmmm-mm-mm-thick的表面上为0.45,均为1.5mmmmmmmm-thick。利用出色的长波红外(LWIR)透明度和中等折射率为2 SE 3玻璃,全chalcogenide Metalens的焦点斑点大小约为1.39λ0,焦点效率为47%,在9.78μm的波长下为9.78μm,同时也表现出高分辨率的效果。我们的工作提供了一条有前途的途径,可以实现易于制作的,可实现的平面红外光学元件,用于紧凑,轻巧的LWIR成像系统。