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*其他法案所需的许可证触发IAA OGD参与者| Illustrative – some components would not apply to same project YESAA – Yukon Environmental and Socio-Economic Assessment Act / MVRMA – Mackenzie Valley Resource Management Act / MBCA – Migratory Birds Convention Act / IBWTA – International Boundary Waters Treaty Act / CPRA – Canadian Petroleum Resource Act / Offshore Accords – Canada – NS and NFLD Offshore Accords / CEPA – Canadian Environmental Protection Act / Nuppaa - Nunavut计划和项目评估法（NUPPAA）< / div>
展示电活性聚合物微传感器的完整集成过程以实现软微芯片
摘要 电活性聚合物的驱动和传感应该是柔性 MEMS 的一个机会，但它们的微加工和集成仍不成熟。人们仍期待一些创新材料和微加工工艺。本文首次全面阐述了聚合物微传感器 (MT)，包括集成和操作。制造工艺依赖于市售的聚（3,4-乙基二氧噻吩）：聚（苯乙烯磺酸盐）（PEDOT：PSS）导电墨水，涂在柔性 SU-8 光刻胶微芯片上。演示了由不同形状的可单独寻址 MT 组成的复杂柔性单片单元的批量制造。所得聚合物 MT 在露天表现出非常有前途的弯曲驱动和应变传感特性。值得注意的是，与用激光切割制造的材料相比，微加工工艺对性能没有影响。这项工作为柔性 MEMS 的开发铺平了道路，用于软微机器人、医疗和空间应用中的微流体。
回音壁模式促进穿孔介电微球中光学回流增强
介电微球内的光能流通常与光波矢量同向。同时，如果微球中的光场与高质量空间本征模式（回音壁模式 - WGM）之一共振，则阴影半球中会出现反向能量流区域。由于增加了光学捕获潜力，该区域具有相当大的实际意义。在本文中，我们考虑了一个沿粒子直径制造的带有充气单针孔的穿孔微球，并对纳米结构微球中 WGM 激发的特性进行了数值分析。针孔隔离了共振模式的能量回流区域，并将穿孔微球变成了高效的光镊。据我们所知，这是第一次揭示 WGM 共振时针孔中回流强度的多次增强，并讨论了其操纵方式。
