线边缘粗糙度 (LER) 的测量最近已成为光刻计量学界和整个半导体行业关注的话题。高级计量咨询小组 (AMAG) 是一个由国际 SEMATECH (ISMT) 联盟成员公司和美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的首席计量学家组成的委员会,该委员会正在开展一项研究 LER 指标并指导关键尺寸扫描电子显微镜 (CD-SEM) 供应商社区采用半导体行业支持的标准化解决方案。2003 年国际半导体技术路线图 (ITRS) 为粗糙度提供了新的定义。ITRS 设想了边缘和宽度粗糙度的均方根测量。还有其他可能的指标,其中一些将在此处进行调查。ITRS 设想将均方根测量限制在粗糙度波长范围内,并且测量重复性优于指定的公差。本研究解决了满足这些规范所需的测量选择。推导出必须测量的线长和沿该长度测量位置间距的表达式。结果表明,图像中的噪声会产生粗糙度测量误差,这些误差既有随机成分,也有非随机成分(即偏差)。在特殊测试图案中报告了对紫外线抗蚀剂和多晶硅的测量结果,这些材料的粗糙度是典型的。这些测量结果表明,粗糙度测量对噪声的敏感度主要取决于边缘检测算法的选择和聚焦的质量。当使用基于模型或 S 形拟合算法并且图像聚焦良好时,测量对噪声的敏感度较低。使用测得的紫外线抗蚀剂线的粗糙度特性并应用 90 nm 技术节点的 ITRS 要求,推导出的采样长度和采样间隔表达式意味着必须以 7.5 nm 或更短的间隔测量至少为节点 8 倍的线长(即 720 nm)。
线边缘粗糙度 (LER) 的测量最近已成为光刻计量学界和整个半导体行业关注的话题。高级计量咨询小组 (AMAG) 是由国际 SEMATECH (ISMT) 联盟成员公司和美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的首席计量学家组成的委员会,该委员会有一个项目,旨在研究 LER 指标并指导关键尺寸扫描电子显微镜 (CD-SEM) 供应商社区采用半导体行业支持的标准化解决方案。2003 年国际半导体技术路线图 (ITRS) 包含了粗糙度的新定义。ITRS 设想了边缘和宽度粗糙度的均方根测量。还有其他可能的指标,其中一些在这里进行了调查。ITRS 设想将均方根测量限制在粗糙度波长范围内,该波长落在指定的工艺相关范围内,并且测量重复性优于指定的公差。本研究解决了满足这些规范所需的测量选择。推导出必须测量的线长表达式以及沿该长度的测量位置间距。图像中的噪声会产生粗糙度测量误差,这些误差既有随机成分,也有非随机成分(即偏差)。在特殊测试图案中报告了对紫外线抗蚀剂和多晶硅的测量结果,这些材料的粗糙度是典型的。这些测量表明,粗糙度测量对噪声的灵敏度主要取决于边缘检测算法的选择和焦点的质量。当使用基于模型或 S 形拟合算法且图像对焦良好时,测量对噪声的敏感度较低。使用测量的 UV 抗蚀剂线的粗糙度特性并应用 ITRS 对 90 nm 技术节点的要求,得出的采样长度和采样间隔表达式意味着必须以 7.5 nm 或更小的间隔测量至少 8 倍节点(即 720 nm)的线长。
这两个研讨会,即电偶腐蚀和点蚀,分别于 1974 年 10 月 22-23 日在密歇根州底特律举行的 1974 年材料工程大会上发表。研讨会由美国材料与试验协会金属腐蚀委员会 G-1 实验室腐蚀试验分委员会 GO 1.05 和电偶腐蚀分委员会 GO 1.07 主办。通用汽车公司的 LC Rowe 担任研讨会主席,通用汽车公司的 WD France, Jr. 担任点蚀研讨会联合主席。洛克希德导弹和航天公司的 JF Rynewicz 担任电偶腐蚀研讨会主席,德州仪器公司的 Robert Baboian 担任研讨会联合主席。
当样品返回舱进入地球大气层时,舱前会产生强烈的冲击波,舱体会受到严重的气动加热。烧蚀方法是保护舱体免受加热的有效热保护方法。未来,舱体预计会更大,再入速度也会更快。因此,舱体将受到更严重的气动加热。在本实验中,使用孔径不同的多孔碳(5 μm、10 μm 和 25 μm)和浸渍氰基丙烯酸酯的多孔碳作为试件。结果发现,不同试件的磨损时间和磨损行为存在差异。此外,通过使用自动位置控制系统进行实验,计算出有效烧蚀热,该系统可以检测试件的尖端并将其控制到目标位置。浸渍氰基丙烯酸酯(5 μm)的多孔碳的有效烧蚀热约为 2.8 MJ/kg。
使用以下覆盖范围政策的说明适用于Cigna公司管理的健康福利计划。某些CIGNA公司和/或业务范围仅向客户提供利用审核服务,并且不做覆盖范围的确定。引用标准福利计划语言和覆盖范围确定不适用于这些客户。覆盖范围政策旨在为解释Cigna Companies管理的某些标准福利计划提供指导。请注意,客户的特定福利计划文件的条款[集团服务协议,覆盖范围证据,覆盖证证书,摘要计划描述(SPD)或类似计划文件]可能与这些承保范围政策所基于的标准福利计划有很大差异。例如,客户的福利计划文件可能包含与覆盖策略中涉及的主题相关的特定排除。发生冲突时,客户的福利计划文件始终取代覆盖策略中的信息。在没有控制联邦或州承保范围授权的情况下,福利最终取决于适用的福利计划文件的条款。在每个特定实例中的覆盖范围确定需要考虑1)根据服务日期生效的适用福利计划文件的条款; 2)任何适用的法律/法规; 3)任何相关的附带资料材料,包括覆盖范围政策; 4)特定情况的具体事实。应自行审查每个覆盖范围请求。提交的索赔医疗主管应在适当的情况下行使临床判断,并在做出个人覆盖范围确定方面酌情决定。如果保险或服务的保险不取决于特定情况,则仅在根据适用的覆盖范围政策中概述的相关标准(包括涵盖的诊断和/或程序代码)中概述的相关标准提交请求的服务。在此保险策略未涵盖的条件或诊断费用时,不允许报销服务(请参见下面的“编码信息”)。在计费时,提供者必须在提交生效日期起使用最适当的代码。
混合性结缔组织病 (MCTD) 是一种胶原病,具有多种临床表现,包括系统性红斑狼疮、系统性硬化症和多发性肌炎等混合症状,是一种以抗 RNP 抗体参与为特征的免疫疾病。因此,当观察到本病的临床表现之一系统性红斑狼疮样症状时,作为相应的主要筛查试验的定性抗DNA抗体检测对于做出正确的诊断(包括确诊后的修改诊断)是有用的。
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InformationsGénéralesGPSM1(也称为AGS3)是一种独立于受体的G蛋白激活剂,与多个生物学事件有关,例如脑发育,神经塑性和成瘾,心脏功能,Golgi结构/功能,麦克罗阿养分和代谢。它在其N末端半末端包含七个四肽重复序列,其C末端中有四个G蛋白调节(GPR)基序。已经表明,AGS3可以通过优先与多种G蛋白调节蛋白调节性或果仁蛋白磷酸盐磷酸盐(GDP)复杂的无活性GAI/O亚基结合来调节有丝分裂纺锤体,营地生产,膜蛋白传输和不对称细胞分裂的取向。它也通过增强环状AMP响应元素结合蛋白(P-CREB)的磷酸化而起着重要的抗凋亡作用。
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