2007 年 11 月,Roth & Rau 的光伏和微电子部门搬迁至独立的工厂。从那时起,Roth & Rau MicroSystems 品牌就代表着微电子和光学行业离子束和等离子技术应用的高度专业化设备。Roth & Rau MicroSystems 位于萨克森州的 Hohenstein-Ernstthal,靠近德国微电子工业的中心。45 名受过高等教育的工艺技术和系统工程员工以及 15 名机械制造员工是独特制造设备成功的关键。3500 平方米的制造区域和办公空间以及 10000 级洁净室(包括自己的计量功能)为系统组装和技术开发提供了良好的环境。Roth & Rau MicroSystems 最近提供两条重要的产品线。离子束技术的高端解决方案包括用于局部离子束修整的 IonScan 系统和用于离子束铣削和离子束沉积的 IonSys 系统。在等离子技术中,PECVD 和 RIE 应用得到解决。MicroSys 利用 AK 平台制造大面积工艺系统,提供基于晶圆的系统。除了这些标准平台外,还制造用于 TCO 涂层的卷对卷机器等系统。Roth & Rau MicroSystems 的产品由所有相关微电子市场的专业合作伙伴分销和服务。有关相应合作伙伴的联系信息,请参阅随附的传单。2008 年展览
– 奥地利航天局 (ASA)/奥地利。– 比利时联邦科学政策办公室 (BFSPO)/比利时。– 中央机械制造研究院 (TsNIIMash)/俄罗斯联邦。– 中国卫星发射和跟踪控制总局、北京跟踪与电信技术研究所 (CLTC/BITTT)/中国。– 中国科学院 (CAS)/中国。– 中国空间技术研究院 (CAST)/中国。– 联邦科学与工业研究组织 (CSIRO)/澳大利亚。– 丹麦国家空间中心 (DNSC)/丹麦。– 航空航天科学与技术部 (DCTA)/巴西。– 电子和电信研究院 (ETRI)/韩国。– 欧洲气象卫星利用组织 (EUMETSAT)/欧洲。– 欧洲电信卫星组织 (EUTELSAT)/欧洲。– 地理信息和空间技术发展机构 (GISTDA)/泰国。– 希腊国家空间委员会 (HNSC)/希腊。– 印度空间研究组织 (ISRO)/印度。– 空间研究所 (IKI)/俄罗斯联邦。– KFKI 粒子与核物理研究所 (KFKI)/匈牙利。– 韩国航空宇宙研究院 (KARI)/韩国。– 通信部 (MOC)/以色列。– 国家信息和通信技术研究所 (NICT)/日本。– 国家海洋和大气管理局 (NOAA)/美国。– 哈萨克斯坦共和国国家空间局 (NSARK)/哈萨克斯坦。– 国家空间组织 (NSPO)/中国台北。– 海军空间技术中心 (NCST)/美国。– 土耳其科学技术研究委员会 (TUBITAK)/土耳其。– 南非国家航天局 (SANSA)/南非共和国。– 空间和高层大气研究委员会 (SUPARCO)/巴基斯坦。– 瑞典空间公司 (SSC)/瑞典。– 瑞士空间办公室 (SSO)/瑞士。– 美国地质调查局 (USGS)/美国。
– 奥地利航天局 (ASA)/奥地利。 – 比利时联邦科学政策办公室 (BFSPO)/比利时。 – 中央机械制造研究院 (TsNIIMash)/俄罗斯联邦。 – 中国卫星发射和跟踪控制总院、北京跟踪和通信技术研究所 (CLTC/BITTT)/中国。 – 中国科学院 (CAS)/中国。 – 中国空间技术研究院 (CAST)/中国。 – 英联邦科学与工业研究组织 (CSIRO)/澳大利亚。 – 丹麦国家空间中心 (DNSC)/丹麦。 – 航空航天科学和技术部 (DCTA)/巴西。 – 电子和电信研究所 (ETRI)/韩国。 – 欧洲气象卫星应用组织 (EUMETSAT)/欧洲。 – 欧洲通信卫星组织 (EUTELSAT)/欧洲。 – 地理信息和空间技术发展局 (GISTDA)/泰国。 – 希腊国家空间委员会 (HNSC)/希腊。 – 印度空间研究组织 (ISRO)/印度。 – 空间研究所 (IKI)/俄罗斯联邦。 – 韩国航空宇宙研究院 (KARI)/韩国。 – 通信部 (MOC)/以色列。 – 穆罕默德·本·拉希德航天中心 (MBRSC)/阿拉伯联合酋长国。 – 国家信息和通信技术研究所 (NICT)/日本。 – 国家海洋和大气管理局 (NOAA)/美国。 – 哈萨克斯坦共和国国家空间局 (NSARK)/哈萨克斯坦。 – 国家空间组织 (NSPO)/中国台北。 – 海军空间技术中心 (NCST)/美国。 – 粒子与核物理研究所 (KFKI)/匈牙利。 – 土耳其科学技术研究委员会 (TUBITAK)/土耳其。 – 南非国家航天局 (SANSA)/南非共和国。 – 空间和高层大气研究委员会 (SUPARCO)/巴基斯坦。 – 瑞典空间公司 (SSC)/瑞典。 – 瑞士空间办公室 (SSO)/瑞士。 – 美国地质调查局 (USGS)/美国。
– 奥地利航天局 (ASA)/奥地利。– 比利时联邦科学政策办公室 (BFSPO)/比利时。– 中央机械制造研究院 (TsNIIMash)/俄罗斯联邦。– 中国卫星发射和跟踪控制总局、北京跟踪与电信技术研究所 (CLTC/BITTT)/中国。– 中国科学院 (CAS)/中国。– 中国空间技术研究院 (CAST)/中国。– 联邦科学与工业研究组织 (CSIRO)/澳大利亚。– 丹麦国家空间中心 (DNSC)/丹麦。– 航空航天科学与技术部 (DCTA)/巴西。– 电子和电信研究院 (ETRI)/韩国。– 欧洲气象卫星利用组织 (EUMETSAT)/欧洲。– 欧洲电信卫星组织 (EUTELSAT)/欧洲。– 地理信息和空间技术发展机构 (GISTDA)/泰国。– 希腊国家空间委员会 (HNSC)/希腊。– 印度空间研究组织 (ISRO)/印度。– 空间研究所 (IKI)/俄罗斯联邦。– KFKI 粒子与核物理研究所 (KFKI)/匈牙利。– 韩国航空宇宙研究院 (KARI)/韩国。– 通信部 (MOC)/以色列。– 国家信息和通信技术研究所 (NICT)/日本。– 国家海洋和大气管理局 (NOAA)/美国。– 哈萨克斯坦共和国国家空间局 (NSARK)/哈萨克斯坦。– 国家空间组织 (NSPO)/中国台北。– 海军空间技术中心 (NCST)/美国。– 土耳其科学技术研究理事会 (TUBITAK)/土耳其。– 南非国家空间局 (SANSA)/南非共和国。– 空间和高层大气研究委员会 (SUPARCO)/巴基斯坦。– 瑞典空间公司 (SSC)/瑞典。– 瑞士空间办公室 (SSO)/瑞士。– 美国地质调查局 (USGS)/美国。
– 奥地利航天局 (ASA)/奥地利。– 比利时联邦科学政策办公室 (BFSPO)/比利时。– 中央机械制造研究院 (TsNIIMash)/俄罗斯联邦。– 中国卫星发射和跟踪控制总局、北京跟踪与电信技术研究所 (CLTC/BITTT)/中国。– 中国科学院 (CAS)/中国。– 中国空间技术研究院 (CAST)/中国。– 联邦科学与工业研究组织 (CSIRO)/澳大利亚。– 丹麦国家空间中心 (DNSC)/丹麦。– 航空航天科学与技术部 (DCTA)/巴西。– 电子和电信研究院 (ETRI)/韩国。– 欧洲气象卫星利用组织 (EUMETSAT)/欧洲。– 欧洲电信卫星组织 (EUTELSAT)/欧洲。– 地理信息和空间技术发展机构 (GISTDA)/泰国。– 希腊国家空间委员会 (HNSC)/希腊。– 希腊航天局 (HSA)/希腊。– 印度空间研究组织 (ISRO)/印度。– 空间研究所 (IKI)/俄罗斯联邦。– 韩国航空宇宙研究院 (KARI)/韩国。– 通信部 (MOC)/以色列。– 穆罕默德·本·拉希德太空中心 (MBRSC)/阿拉伯联合酋长国。– 国家信息和通信技术研究所 (NICT)/日本。– 国家海洋和大气管理局 (NOAA)/美国。– 哈萨克斯坦共和国国家航天局 (NSARK)/哈萨克斯坦。– 国家空间组织 (NSPO)/中国台北。– 海军空间技术中心 (NCST)/美国。– 粒子与核物理研究所 (KFKI)/匈牙利。– 土耳其科学技术研究委员会 (TUBITAK)/土耳其。– 南非国家航天局 (SANSA)/南非共和国。– 空间和高层大气研究委员会 (SUPARCO)/巴基斯坦。– 瑞典空间公司 (SSC)/瑞典。– 瑞士空间办公室 (SSO)/瑞士。– 美国地质调查局 (USGS)/美国。
– 奥地利航天局 (ASA)/奥地利。 – 比利时联邦科学政策办公室 (BFSPO)/比利时。 – 中央机械制造研究院 (TsNIIMash)/俄罗斯联邦。 – 中国卫星发射和跟踪控制总院、北京跟踪和通信技术研究所 (CLTC/BITTT)/中国。 – 中国科学院 (CAS)/中国。 – 中国空间技术研究院 (CAST)/中国。 – 英联邦科学与工业研究组织 (CSIRO)/澳大利亚。 – 丹麦国家空间中心 (DNSC)/丹麦。 – 航空航天科学和技术部 (DCTA)/巴西。 – 电子和电信研究所 (ETRI)/韩国。 – 欧洲气象卫星应用组织 (EUMETSAT)/欧洲。 – 欧洲通信卫星组织 (EUTELSAT)/欧洲。 – 地理信息和空间技术发展局 (GISTDA)/泰国。 – 希腊国家空间委员会 (HNSC)/希腊。 – 印度空间研究组织 (ISRO)/印度。 – 空间研究所 (IKI)/俄罗斯联邦。 – 韩国航空宇宙研究院 (KARI)/韩国。 – 通信部 (MOC)/以色列。 – 穆罕默德·本·拉希德航天中心 (MBRSC)/阿拉伯联合酋长国。 – 国家信息和通信技术研究所 (NICT)/日本。 – 国家海洋和大气管理局 (NOAA)/美国。 – 哈萨克斯坦共和国国家空间局 (NSARK)/哈萨克斯坦。 – 国家空间组织 (NSPO)/中国台北。 – 海军空间技术中心 (NCST)/美国。 – 粒子与核物理研究所 (KFKI)/匈牙利。 – 土耳其科学技术研究委员会 (TUBITAK)/土耳其。 – 南非国家航天局 (SANSA)/南非共和国。 – 空间和高层大气研究委员会 (SUPARCO)/巴基斯坦。 – 瑞典空间公司 (SSC)/瑞典。 – 瑞士空间办公室 (SSO)/瑞士。 – 美国地质调查局 (USGS)/美国。
– 奥地利空间局 (ASA)/奥地利。 – 比利时联邦科学政策办公室 (BFSPO)/比利时。 – 中央机械制造研究院 (TsNIIMash)/俄罗斯联邦。 – 中国卫星发射和跟踪控制总院、北京跟踪和通信技术研究所 (CLTC/BITTT)/中国。 – 中国科学院 (CAS)/中国。 – 中国空间技术研究院 (CAST)/中国。 – 英联邦科学与工业研究组织 (CSIRO)/澳大利亚。 – 丹麦国家空间中心 (DNSC)/丹麦。 – 航空航天科学和技术部 (DCTA)/巴西。 – 欧洲气象卫星应用组织 (EUMETSAT)/欧洲。 – 欧洲通信卫星组织 (EUTELSAT)/欧洲。 – 地理信息和空间技术发展署 (GISTDA)/泰国。 – 希腊国家空间委员会 (HNSC)/希腊。 – 印度空间研究组织 (ISRO)/印度。 – 空间研究所 (IKI)/俄罗斯联邦。 – KFKI 粒子与核物理研究所 (KFKI)/匈牙利。 – 韩国航空宇宙研究院 (KARI)/韩国。 – 通信部 (MOC)/以色列。 – 国家信息通信技术研究所 (NICT)/日本。 – 国家海洋和大气管理局 (NOAA)/美国。 – 哈萨克斯坦共和国国家空间局 (NSARK)/哈萨克斯坦。 – 国家空间组织 (NSPO)/中国台北。 – 海军空间技术中心 (NCST)/美国。 – 土耳其科学技术研究理事会 (TUBITAK)/土耳其。 – 南非国家空间局 (SANSA)/南非共和国。 – 空间和高层大气研究委员会 (SUPARCO)/巴基斯坦。 – 瑞典空间公司 (SSC)/瑞典。 – 瑞士空间办公室 (SSO)/瑞士。 – 美国地质调查局 (USGS)/美国。
– 奥地利航天局 (ASA)/奥地利。– 比利时联邦科学政策办公室 (BFSPO)/比利时。– 中央机械制造研究院 (TsNIIMash)/俄罗斯联邦。– 中国卫星发射和跟踪控制总局、北京跟踪与电信技术研究所 (CLTC/BITTT)/中国。– 中国科学院 (CAS)/中国。– 中国空间技术研究院 (CAST)/中国。– 联邦科学与工业研究组织 (CSIRO)/澳大利亚。– CSIR 卫星应用中心 (CSIR)/南非共和国。– 丹麦国家空间中心 (DNSC)/丹麦。– 航空航天科学与技术部 (DCTA)/巴西。– 欧洲气象卫星应用组织 (EUMETSAT)/欧洲。– 欧洲通信卫星组织 (EUTELSAT)/欧洲。– 地理信息和空间技术发展机构 (GISTDA)/泰国。– 希腊国家空间委员会 (HNSC)/希腊。– 印度空间研究组织 (ISRO)/印度。– 空间研究所 (IKI)/俄罗斯联邦。– KFKI 粒子与核物理研究所 (KFKI)/匈牙利。– 韩国航空宇宙研究院 (KARI)/韩国。– 通信部 (MOC)/以色列。– 国家信息通信技术研究所 (NICT)/日本。– 美国国家海洋和大气管理局 (NOAA)/美国。– 哈萨克斯坦共和国国家空间局 (NSARK)/哈萨克斯坦。– 国家空间组织 (NSPO)/中国台北。– 海军空间技术中心 (NCST)/美国。– 土耳其科学技术研究理事会 (TUBITAK)/土耳其。– 空间和高层大气研究委员会 (SUPARCO)/巴基斯坦。– 瑞典空间公司 (SSC)/瑞典。– 美国地质调查局 (USGS)/美国。
– 奥地利航天局 (ASA)/奥地利。– 比利时联邦科学政策办公室 (BFSPO)/比利时。– 中央机械制造研究院 (TsNIIMash)/俄罗斯联邦。– 中国卫星发射和跟踪控制总局、北京跟踪与电信技术研究所 (CLTC/BITTT)/中国。– 中国科学院 (CAS)/中国。– 中国空间技术研究院 (CAST)/中国。– 联邦科学与工业研究组织 (CSIRO)/澳大利亚。– 丹麦国家空间中心 (DNSC)/丹麦。– 航空航天科学与技术部 (DCTA)/巴西。– 电子和电信研究院 (ETRI)/韩国。– 欧洲气象卫星利用组织 (EUMETSAT)/欧洲。– 欧洲电信卫星组织 (EUTELSAT)/欧洲。– 地理信息和空间技术发展机构 (GISTDA)/泰国。– 希腊国家空间委员会 (HNSC)/希腊。– 印度空间研究组织 (ISRO)/印度。– 空间研究所 (IKI)/俄罗斯联邦。– 韩国航空宇宙研究院 (KARI)/韩国。– 通信部 (MOC)/以色列。– 穆罕默德·本·拉希德航天中心 (MBRSC)/阿拉伯联合酋长国。– 国家信息和通信技术研究所 (NICT)/日本。– 国家海洋和大气管理局 (NOAA)/美国。– 哈萨克斯坦共和国国家空间局 (NSARK)/哈萨克斯坦。– 国家空间组织 (NSPO)/中国台北。– 海军空间技术中心 (NCST)/美国。– 粒子与核物理研究所 (KFKI)/匈牙利。– 土耳其科学技术研究理事会 (TUBITAK)/土耳其。– 南非国家空间局 (SANSA)/南非共和国。– 空间和高层大气研究委员会 (SUPARCO)/巴基斯坦。– 瑞典空间公司 (SSC)/瑞典。– 瑞士空间办公室 (SSO)/瑞士。– 美国地质调查局 (USGS)/美国。
– 奥地利航天局 (ASA)/奥地利。 – 比利时联邦科学政策办公室 (BFSPO)/比利时。 – 中央机械制造研究院 (TsNIIMash)/俄罗斯联邦。 – 中国卫星发射和跟踪控制总院、北京跟踪和通信技术研究所 (CLTC/BITTT)/中国。 – 中国科学院 (CAS)/中国。 – 中国空间技术研究院 (CAST)/中国。 – 英联邦科学与工业研究组织 (CSIRO)/澳大利亚。 – 丹麦国家空间中心 (DNSC)/丹麦。 – 航空航天科学和技术部 (DCTA)/巴西。 – 电子和电信研究所 (ETRI)/韩国。 – 欧洲气象卫星应用组织 (EUMETSAT)/欧洲。 – 欧洲通信卫星组织 (EUTELSAT)/欧洲。 – 地理信息和空间技术发展局 (GISTDA)/泰国。 – 希腊国家空间委员会 (HNSC)/希腊。 – 印度空间研究组织 (ISRO)/印度。 – 空间研究所 (IKI)/俄罗斯联邦。 – 韩国航空宇宙研究院 (KARI)/韩国。 – 通信部 (MOC)/以色列。 – 穆罕默德·本·拉希德航天中心 (MBRSC)/阿拉伯联合酋长国。 – 国家信息和通信技术研究所 (NICT)/日本。 – 国家海洋和大气管理局 (NOAA)/美国。 – 哈萨克斯坦共和国国家空间局 (NSARK)/哈萨克斯坦。 – 国家空间组织 (NSPO)/中国台北。 – 海军空间技术中心 (NCST)/美国。 – 粒子与核物理研究所 (KFKI)/匈牙利。 – 土耳其科学技术研究委员会 (TUBITAK)/土耳其。 – 南非国家航天局 (SANSA)/南非共和国。 – 空间和高层大气研究委员会 (SUPARCO)/巴基斯坦。 – 瑞典空间公司 (SSC)/瑞典。 – 瑞士空间办公室 (SSO)/瑞士。 – 美国地质调查局 (USGS)/美国。